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CORDIS - Risultati della ricerca dell’UE
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Contenuto archiviato il 2024-04-16

OXYGEN IN SEMICONDUCTOR SILICON

Obiettivo



The oxygen content of silicon is an important parameter for the manufacturing of integrated circuits and other electronic devices. The measurements are based on infrared absorption spectrometry. Results of infrared absorption measurement often differ by several percent between different laboratories. Industry has therefore requested the BCR programme to produce silicon reference materials (zero specimens needed in the measurements as well as samples to check infrared spectrometers).

RESULTS

Intercomparisons have been organized to improve the measurements of the actual oxygen content and of the infrared absorption.
Two reference materials have been certified.
CRM 368: silicon with very low 0 content, to be used as "zero"
specimens: 69 +/- 19 ng/g
Certification report: EUR 12927 (1990)
CRM 369: silicon with 0 contents in the range of industrial interest, for testing the accuracy (photometry + software) or the IR Instruments:
absorption coefficients in the range 2.2 - 3.8 cm{-1}
oxygen contents in the range 8 - 13 ug/g
Certification report : EUR 12928 (1991)

Campo scientifico (EuroSciVoc)

CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.

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Programma(i)

Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.

Argomento(i)

Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.

Dati non disponibili

Invito a presentare proposte

Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.

Dati non disponibili

Meccanismo di finanziamento

Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.

CSC - Cost-sharing contracts

Coordinatore

United Kingdom Atomic Energy Authority (UKAEA)
Contributo UE
Nessun dato
Indirizzo
Harwell Laboratory
OX11 0RA Didcot
Regno Unito

Mostra sulla mappa

Costo totale

I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.

Nessun dato

Partecipanti (16)

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