El avance de la microelectrónica en Grecia
La iniciativa financiada por la Unión Europea «Micro and Nano Systems Center of Excellence - IMEL / NCSR Demokritos» (MINASYS-COE) se implementó en el Instituto de Microelectrónica (IMEL) del Centro Nacional de Investigación Científica «Demokritos», en Grecia. IMEL es un instituto muy conocido por su investigación sobre aplicaciones prácticas para los MEMS. Los MEMS se producen utilizando técnicas de micro y nanofabricación y pueden ser estructuras relativamente simples sin componentes móviles. No obstante, también pueden ser sistemas extremadamente complejos, con muchos componentes móviles controlados por un sistema microelectrónico integrado. En el transcurso de los años, los investigadores de IMEL han aplicado los MEMS como sensores de temperatura, presión, composición química, campos magnéticos, radiación, entre muchas otras aplicaciones. Cabe destacar que el rendimiento de muchos de estos sensores micromecánicos supera el de los macrosensores. IMEL modernizó su infraestructura para fortalecer sus capacidades de investigación y desarrollo teniendo en cuenta la gran diversidad de aplicaciones de los MEMS. En concreto se adquirió un equipamiento para perfilar a nanoescala. El nuevo sistema de perfilado con haces electrónicos puede realizar perfiles con una resolución nanométrica de 2,2. La financiación permitió también la contratación por parte de IMEL de científicos e ingenieros experimentados. Sumado a esto, gracias al intercambio de personal con conocidos Centros de Excelencia en Europa, los investigadores de IMEL se familiarizaron con nuevas y sofisticadas técnicas de micro y nanofabricación. Gracias a los talleres organizados durante el proyecto MINASYS-COE, IMEL adquirió una mayor visibilidad en la comunidad científica internacional. Se invitó a representantes de pymes y a grandes laboratorios industriales a contribuir al desarrollo de un laboratorio de nanotecnología competitivo. Estos avances importantes en la capacidad de investigación de IMEL permitieron una colaboración en investigación más fluida con instituciones asociadas a nivel regional, nacional y europeo. En definitiva, estas actividades de MINASYS-COE favorecerán la investigación de los MEMS en el Espacio Europeo de Investigación y particularmente en el sureste de Europa.
Palabras clave
MEMS, chip, Centro de Excelencia, microelectrónica, sensor, infraestructura, sistema de perfilado con haces electrónicos, nanotecnología
