Far avanzare la microelettronica in Grecia
L'iniziativa MINASYS-COE ("Micro and Nano Systems Center of Excellence - IMEL / NCSR Demokritos"), finanziata dall'UE, si è tenuta presso l'Istituto di microelettronica (IMEL) del Centro nazionale di ricerca scientifica "Demokritos" in Grecia. L'IMEL è rinomato per la ricerca svolta su applicazioni pratiche per MEMS. Fatti usando tecniche di fabbricazione micro e nano, i MEMS possono essere strutture relativamente semplici senza componenti mobili. Possono essere però anche sistemi estremamente complessi con diversi componenti mobili controllati da microelettronica integrata. Negli anni, i ricercatori dell'IMEL hanno usato i MEMS per rilevare la temperatura, la pressione, le specie chimiche, i campi magnetici, la radiazione e molte altre applicazioni. Molti di questi sensori micro prodotti hanno dimostrato prestazioni superiori a quelle delle loro controparti in macro-scala. Con una gamma di applicazioni tanto ampia, IMEL ha assunto l'impegno di rafforzare le sue capacità di ricerca e sviluppo migliorando le proprie infrastrutture. In particolare sono state acquistate delle attrezzature per il disegno su nano scala. Il nuovo sistema di scrittura a fascio di elettroni è in grado di tracciare schemi fino a una risoluzione di 2,2 nanometri. I finanziamenti ricevuti hanno oltre a ciò permesso all'IMEL di assumere scienziati e ingegneri di esperienza. Inoltre lo scambio di personale con affermati Centri di eccellenza in Europa ha aiutato i ricercatori dell'IMEL a familiarizzare con le nuove sofisticate tecniche di micro e nano fabbricazione. I workshop organizzati durante il progetto MINASYS-COE hanno migliorato la visibilità dell'IMEL nell'ambito della comunità scientifica internazionale. Rappresentanti di piccole e medie imprese (PMI) selezionate e di grandi laboratori industriali sono stati invitati per aiutare a preparare il terreno verso un laboratorio di nanotecnologia competitivo. I sostanziali miglioramenti della capacità di ricerca dell'IMEL hanno permesso una migliore collaborazione di ricerca con istituti partner a livello regionale, nazionale ed europeo. Le attività di MINASYS-COE dovrebbero in ultima analisi promuovere la ricerca sui MEMS nello Spazio europeo della ricerca e in particolare nell'Europa sud-orientale.
Parole chiave
MEMS, chip, Centro di eccellenza, microelettronica, sensore, infrastruttura, sistema di scrittura a fascio di elettroni, nanotecnologia
