Mikroelektronikförderung in Griechenland
Das Institute of Microelectronics (IMEL) am National Center of Scientific Research 'Demokritos' in Griechenland war Schauplatz der EU-finanzierten Projektinitiative 'Micro and Nano Systems Center of Excellence - IMEL / NCSR Demokritos' (MINASYS-COE)(öffnet in neuem Fenster) . Das IMEL ist überregional für seine Erforschung der praktischen Anwendungen mikroelektromechanischer Systeme bekannt. parDie mittels Mikro- und Nanofertigungsverfahren hergestellten mikroelektromechanischen Systeme können relativ einfache Strukturen ohne bewegliche Komponenten sein. Sie können jedoch auch äußerst komplexe Systeme mit mehreren beweglichen Komponenten sein, die von integrierter Mikroelektronik gesteuert werden. Die IMEL-Forscher haben im Verlauf der Jahre MEMS zur Erfassung von Temperatur, Druck, chemischen Spezies, Magnetfeldern, Strahlung und in vielen anderen Anwendungen mehr eingesetzt. Bemerkenswerterweise haben viele dieser mikrogefertigten Sensoren Leistungen nachgewiesen, die höher als die ihrer Gegenstücke im Makromaßstab sind. Mit einem derart breitgefächerten Spektrum an Anwendungen im Hintergrund bemühte sich das IMEL auf dem Wege der Modernisierung der Infrastruktur um eine Stärkung seiner Forschungs- und Entwicklungskapazitäten. Speziell für die Nano-Strukturierung wurde Ausrüstung angeschafft. Mit dem neuen Elektronenstrahlschreibsystem können Muster bis zu 2,2 Nanometer Auflösung gezeichnet werden. Die bewilligte Finanzierung erlaubte außerdem dem IMEL, erfahrene Wissenschaftler und Ingenieure zu rekrutieren. Außerdem unterstützte der Mitarbeiteraustausch mit etablierten Kompetenzzentren in Europa die IMEL-Forscher dabei, mit den neuen hochentwickelten Mikro- und Nanofabrikationstechniken vertraut zu werden. Die im Laufe des MINASYS-COE-Projekts organisierten Workshops steigerten die Sichtbarkeit des IMEL innerhalb der internationalen wissenschaftlichen Gemeinschaft. Man lud Vertreter ausgewählter kleiner und mittlerer Unternehmen (KMU) sowie von großen Industrielabors dazu ein, Hilfestellung auf dem Weg zu einem wettbewerbsfähigen Nanotechnologielabor zu geben. Wesentliche Verbesserungen der Forschungskapazitäten des IMEL ermöglichten eine bessere Forschungszusammenarbeit mit Partnerinstitutionen auf regionaler, nationaler und europäischer Ebene. Die MINASYS-COE-Aktivitäten sollten letzten Endes die MEMS-Forschung im Europäischen Forschungsraum und insbesondere in Südosteuropa fördern.
