Faire avancer la microélectronique en Grèce
Le projet MINASYS-COE («Micro and Nano Systems Center of Excellence - IMEL / NCSR Demokritos»), financé par l'UE, a été hébergé par l'Institute of Microelectronics (IMEL) du centre national de la recherche scientifique Demokritos en Grèce. L'IMEL est largement renommé pour ses travaux sur les utilisations pratiques des MEMS. Ces systèmes sont réalisés par des techniques de micro et de nanofabrication, et peuvent être des structures relativement simples, sans composants mobiles. Ils peuvent aussi être extrêmement complexes, avec de nombreux composants mobiles, contrôlés par la microélectronique intégrée. Les chercheurs de l'IMEL ont ainsi utilisé des MEMS pour mesurer la température, la pression, des composés chimiques, des champs magnétiques, des rayonnements, etc. Les performances de la plupart de ces capteurs microscopiques dépassent celle des systèmes macroscopiques. Avec une aussi large gamme d'utilisations, l'IMEL a voulu élargir ses capacités en recherche et développement en renforçant ses infrastructures. Il a ainsi acquis un équipement permettant la gravure de nanomotifs. Le nouveau système à faisceau d'électrons peut graver des motifs avec une résolution de 2,2 nanomètres. Avec le financement reçu, l'IMEL a aussi pu recruter des scientifiques et des ingénieurs expérimentés. En outre, l'échange de personnel avec des centres d'excellence bien établis en Europe a aidé les chercheurs de l'IMEL à se familiariser avec les nouvelles techniques de fabrication aux échelles micrométriques et nanométriques. Le projet MINASYS-COE a organisé des ateliers qui ont renforcé la visibilité internationale de l'IMEL auprès des chercheurs. Ces ateliers ont invité des représentants de certaines petites et moyennes entreprises (PME) et de grands laboratoires industriels, pour faciliter la mise en place d'un laboratoire compétitif des nanotechnologies. L'amélioration notable de la capacité de l'IMEL a renforcé la recherche en collaboration avec des institutions partenaires aux niveaux régional, national et européen. Finalement, les activités de MINASYS-COE devraient promouvoir la recherche sur les MEMS dans l'Espace européen de la recherche, particulièrement dans le Sud-est de l'Europe.
Mots‑clés
MEMS, puce, centre d'excellence, microélectronique, capteur, infrastructure, système de gravure par faisceau d'électrons, nanotechnologies
