Rozwój mikroelektroniki w Grecji
Finansowana ze środków UE inicjatywa "Micro and Nano Systems Center of Excellence - IMEL / NCSR Demokritos" (MINASYS-COE) była realizowana w Instytucie Mikroelektroniki (IMEL) greckiego krajowego centrum badań naukowych "Demokritos". IMEL jest znanym ośrodkiem badań nad praktycznymi zastosowaniami układów MEMS. Do wytwarzania układów MEMS stosowane są technologie mikro- i nanoprodukcji. Uzyskiwane układy mogą być względnie prostymi strukturami bez elementów ruchomych lub bardzo złożonymi systemami obejmującymi wiele ruchomych części sterowanych przez zintegrowane obwody mikroelektroniczne. W ostatnich latach badacze z IMEL używali już układów MEMS do wykrywania temperatury, ciśnienia, związków chemicznych i pól magnetycznych oraz w wielu innych zastosowaniach. Co niezwykłe, mikroczujniki często działają skuteczniej od swoich odpowiedników wykonanych w makroskali. Biorąc pod uwagę niezwykle szeroki zakres zastosowań, badacze z IMEL postanowili wzmocnić swój potencjał badawczo-rozwojowy poprzez modernizację infrastruktury. Zakupiono między innymi sprzęt do nanoszenia wzorów w nanoskali. Nowy system zapisu wiązką elektronową umożliwia kreślenie wzorów z rozdzielczością sięgającą 2,2 nanometra. Otrzymane dofinansowanie umożliwiło też rekrutację do IMEL doświadczonych naukowców i inżynierów. Wymiany personelu z renomowanymi europejskimi centrami doskonałości pozwoliły badaczom z IMEL zapoznać się z nowymi, zaawansowanymi technikami mikro- i nanoprodukcji. Warsztaty zorganizowane w ramach projektu MINASYS-COE pozwoliły zwiększyć widoczność IMEL wśród międzynarodowej społeczności naukowej. Aby przygotować grunt pod stworzenie prawdziwie konkurencyjnego laboratorium nanotechnologicznego, zaproszono również przedstawicieli wybranych małych i średnich przedsiębiorstw (MŚP) oraz dużych laboratoriów przemysłowych. Znaczne ulepszenia potencjału badawczego IMEL umożliwiły nawiązanie skuteczniejszej współpracy badawczej z instytucjami partnerskimi na poziomie regionalnym, krajowym i europejskim. Działania projektu MINASYS-COE powinny zaowocować promowaniem badań nad układami MEMS w całej Europejskiej Przestrzeni Badawczej, a szczególnie w Europie Południowo-Wschodniej.
Słowa kluczowe
MEMS, układ scalony, centrum doskonałości, mikroelektronika, czujnik, infrastruktura, system zapisu wiązką elektronową, nanotechnologia
