MEDEA+ met sur pied un conseil consultatif européen sur la lithographie sans masque
MEDEA+, le programme paneuropéen de recherche collaborative et de développement en microélectronique initié par l'industrie dans le cadre d'Eureka, a mis sur pied un conseil consultatif européen sur la lithographie sans masque. En 1965, Gordon Moore, cofondateur d'Intel, s'est rendu compte que le nombre de transistors par pouce carré (6,451 cm²) de circuits intégrés avait doublé chaque année depuis l'invention du circuit intégré. Il a prédit que cette tendance se poursuivrait dans un avenir prévisible. Dans les années qui ont suivi, le rythme s'est un peu ralenti, mais la densité des données a doublé tous les dix-huit mois. La plupart des spécialistes, dont M. Moore lui-même, s'attendent à ce que la loi de Moore s'applique encore au moins vingt ans. La théorie s'appuie sur la lithographie, qui a permis à ce jour une réduction de 30% de la taille des circuits intégrés tous les deux ans. Le masque constitue un élément vital de cette technologie, mais la croissance de son coût observée ces dernières années a limité la viabilité économique des nouvelles générations de technologies. Plusieurs consortiums européens mettent actuellement au point des outils permettant de définir des modèles sans masque. Diverses approches font appel à l'optique des particules ou aux photons. Un certain nombre de concepts de dispositifs de modulation des faisceaux sont aussi actuellement à l'essai. EAB-ML2, le conseil consultatif, fera office de plate-forme d'échange d'idées entre les fournisseurs et les utilisateurs, et étudiera les applications potentielles pour la mise en oeuvre de la lithographie sans masque. "Le savoir-faire et les compétences requis pour créer des outils de lithographie sans masque existent en Europe", a déclaré Mart Graef, président du EAB-ML2. "La participation des grands fabricants européens de semi-conducteurs et des grandes entreprises européennes d'équipements à semi-conducteurs fera en sorte que les solutions fournies soient adaptées aux exigences de l'industrie des circuits intégrés. C'est la question la plus importante que nous aborderons au sein du conseil." Peter Tischer, vice-président de MEDEA+, a souligné l'importance de la recherche en matière de lithographie: "Nous pensons que la lithographie sans masque constitue une solution prometteuse pour les circuits intégrés de faible volume, peut-être aussi pour le prototypage de nouveaux modèles. [Le conseil consultatif] offre la possibilité d'identifier des défis techniques communs et de les aborder dans le cadre d'un travail de collaboration mené au titre du programme MEDEA."