MEDEA+ richtet europäische Beratungsstelle für maskenlose Lithographie ein
Durch MEDEA+, das von der Industrie initiierte paneuropäische Programm für kooperative Forschung und Entwicklung im Bereich Mikroelektronik im Rahmen von Eureka, hat eine europäische Beratungsstelle für maskenlose Lithographie eingerichtet. 1995 hat Gordon Moore, der Mitbegründer von Intel, darauf hingewiesen, dass sich die Anzahl der Transistoren pro Quadratzoll auf den integrierten Schaltungen seit deren Erfindung jährlich verdoppelt hatte. Er prophezeite, dass dieser Trend auch für die absehbare Zukunft anhalten würde. In den darauffolgenden Jahren verlangsamte sich diese Zunahme ein wenig, aber die Datendichte verdoppelte sich etwa alle 18 Monate. Die meisten Fachleute, darunter auch Moore, gehen davon aus, dass sich das Moore-Gesetz noch mindestens zwei Jahrzehnte halten wird. Grund dieser Theorie ist die Lithographie, die bisher alle zwei Jahre eine Verringerung der Größe der Druckmaße um 30 Prozent ermöglicht hat. Die Maske ist ein wesentlicher Bestandteil dieser Technologie, aber steigende Maskenkosten in den letzten Jahren haben die wirtschaftliche Realisierbarkeit neuer Technologiegenerationen eingeschränkt. Mehrere europäische Konsortien entwickeln derzeit Werkzeuge für eine maskenlose Musterdefinition. Bei den verschiedenen Methoden werden entweder Teilchenoptik oder Photonen eingesetzt. Ferner werden eine Reihe von Ideen zu strahlenmodulierenden Geräten getestet. Die Beratungsstelle EAB-ML2 wird als Plattform für Ideenaustausch zwischen Anbietern und Anwendern dienen und Anwendungsszenarien für die Implementierung der maskenlosen Lithographie erforschen. "Fachwissen und Fähigkeiten, die für die maskenlose Lithographie gebraucht werden, sind in Europa vorhanden", erklärte Mart Graef, Leiter von EAB-ML2. "Die Beteiligung der größten europäischen Halbleiter-Hersteller und Halbleiter-Unternehmen wird dafür sorgen, dass die vorgelegten Lösungen an die Anforderungen der IC-Industrie [integrierte Schaltkreise] angepasst werden. Dies ist die wichtigste Frage, mit der wir uns bei EAB-ML2 befassen werden." Der stellvertretende Vorsitzende von MEDEA+, Peter Tischer, unterstrich die Bedeutung der Lithographieforschung: "Wir sehen die maskenlose Lithographie als eine vielversprechende Lösung für IC-Produkte mit geringer Größe an, vielleicht kommt sie auch bei der Prototypherstellung neuer Konzeptionen zum Einsatz. Die Beratungsstelle bietet die Möglichkeit, gemeinsame technische Herausforderungen zu erkennen und sie innerhalb des Programms MEDEA+ kollaborativ anzugehen."