Des objets à l'échelle du nanomètre
Avec les avancées technologiques, la taille des puces a diminué alors que leur capacité de mémoire n'a cessé d'augmenter. Mais ces puces ne sont pas les seules à se miniaturiser. L'homme tente maintenant de fabriquer des dispositifs de la taille des atomes. Les domaines d'application sont nombreux et vont de l'informatique à la médecine en passant par le militaire et la biotechnologie, entre autres. Toutefois, la construction de composants de l'ordre du nanomètre (millième partie du micromètre) requiert du matériel de très grande précision et coûte généralement très cher. Les chercheurs essaient donc constamment de trouver de nouvelles techniques de nanofabrication. Face à cette situation, le programme "Information Society Technologies" a vu le jour. Il réunit des chercheurs de l'Europe entière qui conjuguent leurs efforts afin de découvrir de nouvelles techniques répondant à ces exigences. Le projet CHANIL s'intéresse spécifiquement à la technique de la lithographie par nano-impression (NIL). Pour éviter les inconvénients liés aux matériaux traditionnels comme le polyméthylméthacrylate, les chercheurs participant à CHANIL ont sélectionné des polymères réticulés. Cette innovation garantit une excellente stabilité thermique et de remarquables résultats en termes de gravure sèche. Dans le même temps, elle permet d'éviter des températures d'estampage élevées et les problèmes afférents. De nouvelles structures avec une résolution inférieure à 50 nanomètres ont été créées à l'aide de polymères réticulés thermiquement et photochimiquement. Lors de diverses conférences internationales, ces nouveaux résists par lithographie par nano-impression ont reçu un accueil chaleureux. L'entreprise allemande micro resist technology GmbH commercialise très activement ces nouveaux produits. Ce travail va permettre à l'Europe de maintenir une position compétitive dans ce marché naissant. L'image montre lignes et éspaces (lines and spaces) de 100nm en polymère réticulé photochimiquement.
