Spruzzamento da magnetron con controllo in tempo reale dello spessore
Il Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST (Fraunhofer IST) ha coordinato 3RD GENLAC, un progetto triennale di ricerca da vari milioni di euro che mira a produrre i rivestimenti ottici della prossima generazione. Fraunhofer IST è esperta in tutti i tipi di applicazione di film sottili, incluso lo spruzzamento da magnetron per grandi superfici. Uno dei problemi legati all'uso di bersagli ceramici nello spruzzamento da magnetron è la loro erosione nel tempo, che può portare a deposizioni non omogenee. È possibile rimediarvi con frequenti calibrazioni, ma si ha così una perdita di tempo di produzione. Gl'ingegneri tedeschi hanno trovato una nuova soluzione che misura e regola in tempo reale la velocità di erosione del bersaglio. In particolare, il Fraunhofer IST usa la XRF (fluorescenza a raggi X) per misurare la perdita del bersaglio in un catodo di spruzzamento secondario di un doppio catodo planare riempito con argon. Un segnale XRF costante indica un'uscita uniforme dalla fonte cilindrica orientabile principale di spruzzamento. La nuova tecnica è adatta ad applicazioni di vetratura architettonica con standard estremamente elevati di spessore del film, ad esempio finestre a bassa emissività.
