Magnetron-Bedampfung mit Dickensteuerung in Echtzeit
Das Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (Fraunhofer IST) koordinierte ein dreijähriges, mit mehreren Millionen Euro ausgestattetes Forschungsprojekt mit dem Titel 3RD GENLAC, um die nächste Generation optischer Beschichtungen zu entwickeln. Das Fraunhofer IST ist ein Experte für alle Arten von Anwendungen dünner Filme, einschließlich des Einsatzes großflächigen Magnetron-Sputterns. Ein Problem, das bei der Verwendung von keramischen Targetscheiben beim Magnetron-Sputtern auftritt, ist die Erosion, die zu ungleichmäßigen Aufbringungsraten führen kann. Diesem kann man durch häufige Kalibrierung begegnen, aber dadurch verliert man viel Produktionszeit. Die deutschen Ingenieure erarbeiteten eine neuartige Lösung, die die Erosionsrate der Targetscheibe in Echtzeit misst und regelt. Genauer gesagt verwendet das Fraunhofer IST Röntgenfluoreszenz (engl.: X-Ray Fluorescence, XRF), um den Targetverlust in einer sekundären ebenen Sputterkathode mit Argonfüllung, an die Gleichspannung angelegt wird, zu messen. Ein konstantes XRF-Signal zeigt eine gleichmäßige Ausbringung aus der zylindrischen drehbaren Hauptsputterquelle an. Die neue Anlage ist für Verglasung in der Architektur geeignet, wo die Standards hinsichtlich der einheitlichen Filmdicke wie beispielsweise bei Fenstern mit geringer Emissionsrate besonders hoch sind.
