Kontrola grubości warstw w czasie rzeczywistym podczas magnetronowego rozpylania jonowego
Naukowcy z Instytutu Fraunhofera, z Katedry Inżynierii Powierzchni i Cienkich Warstw, koordynowali trwający 3 lata i kosztujący kilka milionów euro projekt badawczy 3RD GENLAC. Celem projektu było wyprodukowanie powłok optycznych nowej generacji. Specjaliści z Katedry Inżynierii Powierzchni i Cienkich Warstw Instytutu specjalizują się w zastosowaniach cienkich warstw w różnych dziedzinach, w tym w magnetronowym rozpylaniu jonowym na dużych obszarach. Jednym z problemów występujących podczas stosowania tarcz ceramicznych do magnetronowego rozpylania jonowego jest ich erozja, co może prowadzić do niejednorodnego osadzania się warstw. Rozwiązaniem problemu jest częsta kalibracja, jednak powoduje ona spowolnienie tempa produkcji. Niemieccy inżynierowie opracowali nowatorskie rozwiązanie, które pozwala zmierzyć i dostosować współczynnik erozji tarczy w czasie rzeczywistym. W Instytucie Fraunhofera wykorzystywana jest fluorescencja rentgenowska do mierzenia erozji tarczy w konfiguracji z rozpylającą katodą planarną zasilaną prądem stałym, umieszczoną w komorze wypełnionej argonem. Stały sygnał fluorescencji rentgenowskiej wskazuje stałą moc wyjściową z głównego obrotowego źródła rozpylania jonowego. Wynalazek ten może być stosowany w szklarstwie budowlanym, gdzie standardy dotyczące jednorodnej grubości warstw są wyjątkowo wysokie, np. w przypadku okien o niskim współczynniku emisji.
