Verbesserung der Entwicklung und Synthese funktioneller Materialien
Das NOVOPOLY-Projekt ("Novel Functional Polymer Materials for MEMS and NEMS Applications") war darauf angelegt, die Funktionalität von Materialien zu erhöhen und gleichzeitig die exzellenten Möglichkeiten der Mikrostrukturierung zu bewahren. Das EU-finanzierte Projekt arbeitete daher an der Entwicklung neuer funktioneller Materialien, die in nano- und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS/NEMS) Anwendung finden können. Machbarkeitsstudien wurden für verschiedene Zielanwendungen durchgeführt. Die Aktivitäten von NOVOPOLY konzentrierten sich auf die Materialentwicklung und –synthese sowie auf Problemstellungen der Verarbeitung und Strukturierung. Daher war eine parallele Zielsetzung die Entwicklung und Verbesserung innovativer Methoden der Strukturierung für ausgewählte Materialien der MEMS und NEMS. Der erste Schritt bestand darin, eine Funktionalität zu bestehenden photostrukturierbaren Polymeren wie SU-8 hinzuzufügen und die Beschränkungen bestehender Systeme aufzuheben. Hierzu gehörten die mechanische und elektrische Leitfähigkeit sowie Eigenschaften der Hochtemperaturstabilität. Herkömmliche Methoden wurden angepasst und innovative Methoden für die spezifischen Anforderungen der neuen Materialien und Prozesse, welche das Potenzial haben, eine Vielzahl von Anwendungen der MEMS und NEMS zu ermöglichen, entwickelt. Die Ergebnisse des NOVOPOLY-Projekts werden durch eine Kostenreduzierung, eine Vereinfachung der Herstellungstechnik sowie durch die Realisierung verbesserter Eigenschaften umfangreiche Auswirkungen auf den Bereich der MEMS und NEMS haben.
