Udoskonalanie projektowania i synteza funkcjonalnych materiałów
W ramach projektu, o nazwie "Nowatorskie funkcjonalne materiały polimerowe w aplikacjach MEMS i NEMS" (Novopoly), postanowiono podwyższyć funkcjonalność materiałów przy jednoczesnym zachowaniu doskonałych zdolności do mikro odwzorowania. W tym finansowanym przez UE projekcie opracowano nowe funkcjonalne materiały przeznaczone do użytku w mikrosystemach (MEMS) i nanosystemach (NEMS) aplikacji technologicznych. Przeprowadzono badania wykonalności dla różnych docelowych zastosowań. Koncentrując się na projektowaniu i syntezie materiałów, w ramach prac projektu Novopoly realizowano również przetwarzanie i zagadnienia strukturyzacji. Toteż, równoległym zadaniem było opracowanie, udoskonalenie i rozwinięcie metod odwzorowania i strukturyzacji wybranych materiałów w systemach MEMS i NEMS. Pierwszy krok polegał na zwiększeniu funkcjonalności w istniejących fotostrukturyzowanych polimerach, takich jak SU-8, oraz eliminacja ograniczeń występujących w istniejących systemach. Obejmowało to mechaniczne i elektryczne właściwości oraz zachowanie stabilności w wysokiej temperaturze. Zaadaptowano klasyczne metody oraz rozwinięto innowacyjne metody określające specyficzne wymagania dla nowych materiałów i procesów, które posiadają potencjał do wdrożenia szerokiego zakresu aplikacji systemów MEMS i NEMS. Rezultaty projektu Novopoly posiadają olbrzymi wpływ na obniżenie kosztów, uproszczenie procesów wytwarzania i uzyskanie poprawionych właściwości w zakresie systemów MEMS i NEMS.
