Der Siliziumforschung in Europa den Rücken stärken
Hauptziel des Projekts "Silicon technology access to research" (STAR) war eine europäische Plattform für moderne Forschung und Entwicklung (FuE) in diesem Bereich. Der Plan bestand darin, die vorhandenen Infrastrukturen der drei europäischen Technologieforschungsinstitute IMEC, CEA/LETI und FhG-IISB zu modernisieren und zu erweitern. Eine Kooperation dieser Institute würde den europäischen Wissenschaftlern eine perfekte Ergänzung zu den technischen Anlagen der Siliziumforschung bieten. Die drei STAR-Projektpartner haben Siliziumwafer-Bearbeitungsanlagen, die Wafer fertigen können, die mit den neuesten Bestrebungen im 300 mm-Bereich mithalten. Dem STAR-Projekt gelang die Installation von über 50 neuen operativen Bearbeitungswerkzeugen, wodurch die bestehende Prozessinfrastruktur erweitert werden konnte. Überdies wurde ein Waferaustauschsystem etabliert, dass es den Labors an verschiedenen Standorten gestattet, an den gleichen Komponenten zu arbeiten, wodurch die moderne Forschung kostengünstiger gestaltet werden kann. Der Zugang zu diesem sogenannten "verteilten Bearbeitungsfazilitäten" für die Forschungsgemeinschaft soll die Wissenschaftler bei der Aufwertung ihrer Forschung und auch bei der Zusammenarbeit in Entwicklungsprogrammen unterstützen. Das Projekt förderte außerdem ein supermodernes interaktives Training für den wissenschaftlichen Nachwuchs und erleichterte die mobile Durchführung von Forschung in ganz Europa. Die Ausnutzung der vom STAR-Projekt modernisierten Infrastrukturen wird Europas Rolle in wichtigen Forschungsfeldern im Zusammenhang mit moderner Siliziumbearbeitung, neu aufkommenden Geräten und Nanotechnologie stärken.
