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Charged particle nanotech

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Une technologie de fabrication en masse d'appareils miniatures

Des chercheurs financés par l'UE ont entrepris le développement d'une technique de production en masse, précise et bon marché pour des appareils fonctionnels à l'échelle moléculaire.

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Les nanotechnologies, ou l'ingénierie de systèmes fonctionnels à l'échelle nanométrique (correspondant à la taille des atomes et des molécules), ont ouvert la porte à de nouveaux matériaux aux propriétés et caractéristiques extraordinaires. Cependant, il s'est avéré difficile de produire en masse des systèmes nanométriques de manière rapide, fiable et économique. Pour fabriquer des systèmes fonctionnels d'échelle nanométrique, on utilise des technologies spéciales afin d'organiser les molécules, les atomes ou les ions sur des substrats similaires à ceux qui servent à réaliser des circuits imprimés traditionnels. La technologie de faisceau d'ions focalisé (FIB) est l'une des plus prometteuses pour fabriquer à la surface de ces substrats des structures complexes en trois dimensions. Des chercheurs européens ont lancé le projet Charpan («Charged particle nanotech») afin de mettre au point une technologie FIB pour fabriquer en masse et à faible coût des systèmes d'échelle nanométrique. La principale innovation a été un dispositif utilisant de nombreux faisceaux en parallèle. Les scientifiques se sont concentrés sur la génération d'environ 40000 faisceaux ioniques secondaires (beamlets) qui, en conjonction avec des pochoirs utilisés pour déposer le matériau sur le substrat, devraient permettre d'atteindre une précision inférieure à 20 nanomètres. La technologie du projet Charpan dispose d'un grand potentiel pour fabriquer les masques, stencils et patrons complexes utilisés pour graver des nanostructures ainsi que pour la nanophotonique, le nanomagnétisme, la nanobiotechnologie et la conversion d'énergie.

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