European Commission logo
español español
CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
CORDIS

Automated Maskless Laser Lithography Platform for First Time Right Mixed Scale Patterning

Descripción del proyecto

Láseres para una fabricación industrial más sostenible

Las tecnologías láser que fabrican estructuras cuyo tamaño varía desde los nanómetros hasta los milímetros tienen múltiples aplicaciones, que incluyen la fotónica, las superficies multifuncionales y el laboratorio en un chip. La litografía láser se utiliza para producir estas estructuras muy finas, pero sus procesos tienen diversas limitaciones. El proyecto OPTIMAL, financiado con fondos europeos, combinará por primera vez varias tecnologías de litografía láser y sistemas de control de calidad en una plataforma para desarrollar determinadas estructuras. Pretende agilizar y mejorar el procedimiento de estructuración. Esto debería impulsar la eficiencia y el rendimiento del proceso y, así, minimizar el consumo de energía, evitar el desperdicio de materiales, además reducir los costes y el tiempo de entrega en muchas aplicaciones.

Objetivo

Laser-based technologies for creating structures in the range from nanometer up to millimeter size find many applications such as free form optics, photonics, multifunctional surfaces, lab-on-chip, etc. with a global market volume of > 200 billion euros. The original structures know as masters are the first step in the making of tools for key-enabling technologies like injection molding or nanoimprinting. Some of the current limitations in the laser lithography processes are the limited depth of the structures, small area and low speed at process level, high-power consumption in the laser interference lithography, and multiple and expensive processes required for the development of hierarchical multifunctional structures at industrial level.
The OPTIMAL project will integrate for the first-time different laser lithography technologies, quality monitoring systems and processes in one platform for the development of structures with (i) high depth (150 micrometer), ii) dimensions in the range from 100 nm to sub-mm in XYZ, iii) 2D&3D shape on flat surface, (iv) combining parallel & serial patterning, (v) no need for external treatments on samples; vi) increased speed (1 cm2/min) and large area (up to 2000 cm2), vii) > 40% of reduction in the consumption of resources for the whole manufacturing process. The OPTIMAL project uses self-learning algorithms to optimize the virtual photomask as well as integrates methods for an inline control of the laser patterning.
By accelerating and upscaling the structuring process, the OPTIMAL project will increase the process efficiency and yield, which will reduce the energy consumption, avoid material waste, decrease costs, and lead time in many applications. The platform will potentiate the possibilities in the sustainable making of high quality, versatile, less costly masters for industrial manufacturing, as demonstrated in 4 use cases (optical lenses, multifunctional riblet structures, virtual reality lens, microfluidic chips).

Coordinador

JOANNEUM RESEARCH FORSCHUNGSGESELLSCHAFT MBH
Aportación neta de la UEn
€ 1 652 264,59
Dirección
LEONHARDSTRASSE 59
8010 Graz
Austria

Ver en el mapa

Región
Südösterreich Steiermark Graz
Tipo de actividad
Research Organisations
Enlaces
Coste total
€ 1 652 264,59

Participantes (9)