CORDIS proporciona enlaces a los documentos públicos y las publicaciones de los proyectos de los programas marco HORIZONTE.
Los enlaces a los documentos y las publicaciones de los proyectos del Séptimo Programa Marco, así como los enlaces a algunos tipos de resultados específicos, como conjuntos de datos y «software», se obtienen dinámicamente de OpenAIRE .
Resultado final
Properties of lithographic patterning for a positive & a negative tone resist series to generate binary (2D), grayscale 2.5D and 3D patterns by using 1) a mask aligner process, 2) one photon laser & a two/ multi photon process and 3) interference lithography process, Summary of chemical, optical, mechanical, and thermal properties of resist patterns.
Plan for Dissemination and Communication (se abrirá en una nueva ventana)The Plan for Dissemination and Communication is a working document where the dissemination strategy and tools to be used during the life of the project are described.
Publicaciones
Autores:
Christine Schuster, Gerda Ekindorf, Anja Voigt, Arne Schleunitz, Gabi Grützner
Publicado en:
Proceedings Volume 12497, Novel Patterning Technologies, Edición Volume 12497, 2023
Editor:
SPIE - Proceedings Volume 12497, Novel Patterning Technologies 2023; 124970P (2023)
DOI:
10.1117/12.2661526
Buscando datos de OpenAIRE...
Se ha producido un error en la búsqueda de datos de OpenAIRE
No hay resultados disponibles