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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Resist materials for transition to green processing in semiconductor industry

CORDIS bietet Links zu öffentlichen Ergebnissen und Veröffentlichungen von HORIZONT-Projekten.

Links zu Ergebnissen und Veröffentlichungen von RP7-Projekten sowie Links zu einigen Typen spezifischer Ergebnisse wie Datensätzen und Software werden dynamisch von OpenAIRE abgerufen.

Leistungen

Project Handbook (öffnet in neuem Fenster)

Report with all process, methods, control of efficient project management and quality assurance in all stages of the Project.

Data management plan (öffnet in neuem Fenster)

Report that describes the good data handling through indicating what research data the project expects 1to generate and describe which parts of the data can be shared with the public.

Veröffentlichungen

Novel nanopositioning system with improved range, dynamics and accuracy

Autoren: Jan Thiesler, Harry Marth, Michael Schröder, Gaoliang Dai
Veröffentlicht in: 2025
Herausgeber: euspen’s 25th International Conference & Exhibition

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