Resist materials for transition to green processing in semiconductor industry

Projektinformationen

RESIN GREEN

ID Finanzhilfevereinbarung: 101135783

DOI

10.3030/101135783

EK-Unterschriftsdatum 25 Oktober 2023

Startdatum 1 Januar 2024

Enddatum 30 Juni 2027

Finanziert unter

• Digital, Industry and Space

Gesamtkosten

€ 3 777 574,50

EU-Beitrag

€ 3 777 574,50

Koordiniert durch

"NATIONAL CENTER FOR SCIENTIFIC RESEARCH ""DEMOKRITOS"""
Greece

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Veröffentlichungen

Conference proceedings (1)

Novel nanopositioning system with improved range, dynamics and accuracy

Autoren: Jan Thiesler, Harry Marth, Michael Schröder, Gaoliang Dai
Veröffentlicht in: 2025
Herausgeber: euspen’s 25th International Conference & Exhibition