Resist materials for transition to green processing in semiconductor industry

Informazioni relative al progetto

RESIN GREEN

ID dell’accordo di sovvenzione: 101135783

DOI

10.3030/101135783

Data della firma CE 25 Ottobre 2023

Data di avvio 1 Gennaio 2024

Data di completamento 30 Giugno 2027

Finanziato da

• Digital, Industry and Space

Costo totale

€ 3 777 574,50

Contributo UE

€ 3 777 574,50

Coordinato da

"NATIONAL CENTER FOR SCIENTIFIC RESEARCH ""DEMOKRITOS"""
Greece

CORDIS fornisce collegamenti ai risultati finali pubblici e alle pubblicazioni dei progetti ORIZZONTE.

I link ai risultati e alle pubblicazioni dei progetti del 7° PQ, così come i link ad alcuni tipi di risultati specifici come dataset e software, sono recuperati dinamicamente da .OpenAIRE .

Risultati finali

Documents, reports (1)

Project Handbook

Report with all process, methods, control of efficient project management and quality assurance in all stages of the Project.

Data Management Plan (1)

Data management plan

Report that describes the good data handling through indicating what research data the project expects 1to generate and describe which parts of the data can be shared with the public.

Pubblicazioni

Conference proceedings (1)

Novel nanopositioning system with improved range, dynamics and accuracy

Autori: Jan Thiesler, Harry Marth, Michael Schröder, Gaoliang Dai
Pubblicato in: 2025
Editore: euspen’s 25th International Conference & Exhibition