Resist materials for transition to green processing in semiconductor industry

Informazioni relative al progetto

RESIN GREEN

ID dell’accordo di sovvenzione: 101135783

DOI

10.3030/101135783

Data della firma CE 25 Ottobre 2023

Data di avvio 1 Gennaio 2024

Data di completamento 30 Giugno 2027

Finanziato da

• Digital, Industry and Space

Costo totale

€ 3 777 574,50

Contributo UE

€ 3 777 574,50

Coordinato da

"NATIONAL CENTER FOR SCIENTIFIC RESEARCH ""DEMOKRITOS"""
Greece

CORDIS fornisce collegamenti ai risultati finali pubblici e alle pubblicazioni dei progetti ORIZZONTE.

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Pubblicazioni

Conference proceedings (1)

Novel nanopositioning system with improved range, dynamics and accuracy

Autori: Jan Thiesler, Harry Marth, Michael Schröder, Gaoliang Dai
Pubblicato in: 2025
Editore: euspen’s 25th International Conference & Exhibition