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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Dispersion force masked-based helium atom lithography

Projektbeschreibung

Leading-Edge-Chips mit noch besseren Funktionen

Halbleiterchips sind das Fundament, auf dem die Digitalisierung aufgebaut ist. Die Nachfrage nach sogenannten Leading-Edge-Chips, d. h. Chips mit den kleinstmöglichen verfügbaren Merkmalen (im Vergleich zu Lagging-Edge-, ausgereiften und Large-Feature-Technologien), steigt exponentiell an. Sie werden für die europäische Wirtschaft in Bereichen wie Automobilbau, Finanzdienstleistungen und IKT bis hin zu KI und Quanteninformationsverarbeitung von entscheidender Bedeutung sein. Außerdem erfordern diese Leading-Edge-Chips optimierte Funktionen, um die Anforderungen an Leistung und Energieeffizienz zu erfüllen. Im Rahmen des EIC-finanzierten Projekts FabouLACE ist die Entwicklung eines Prototyps geplant, bei dem die Funktionen von Leading-Edge-Chips verbessert werden. Eine erfolgreiche Demonstration könnte den Weg zur Kommerzialisierung dieser bisher beispiellosen Leading-Edge-Chips bereiten.

Ziel

As Margrethe Vestager, European Commission Executive Vice-President, said There is no digital without chips.
Leading-edge semiconductors provide the foundation of the digitalization of entire sectors and industries that are transforming the EU economy and of emerging technologies such as artificial intelligence and quantum computing.
Photolithography is currently used for the initial patterning step of chip manufacturing and leading-edge chips require smaller and smaller features.
The smallest features that can be produced with this technology (26 nm at present and expected to reach 16 nm in 2028) not only limits the performance and power efficiency of leading-edge chips, but also the opening of new markets linked to quantum devices and silicon devices with integrated light sources.
FabouLACE project catches this opportunity through a disruptive lithography approach that uses metastable atoms and dispersion force-based masks and enables features of 2 nm. The technology, currently at proof of concept stage and protected by two patents, will be brought at TRL 6 by the end of the project by developing a prototype. Its performances will be validated together with Imec (key actor in the development, testing and early adoption of nano- and digital technology innovations, including lithography) and end-users in the markets of interest. The spin-off Lace, founded in 2022, will bring the technology to the market by 2031. The technology has already attracted a great interest among investors (450k raised in few months) and among the major foundry Intel that accepted Lace in its highly competitive start-up program intel-ignite. Market and business readiness will be developed together with end-users and leveraging on the economic support from investors (>3M private funding expected to be attracted by 2026). The technological and business maturation is expected to result in as much as 628M in revenue in the 2031-2036 period. Let the quantum future begin.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Schlüsselbegriffe

Schlüsselbegriffe des Projekts, wie vom Projektkoordinator angegeben. Nicht zu verwechseln mit der EuroSciVoc-Taxonomie (Wissenschaftliches Gebiet).

Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

HORIZON-EIC - HORIZON EIC Grants

Alle im Rahmen dieses Finanzierungsinstruments finanzierten Projekte anzeigen

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

(öffnet in neuem Fenster) HORIZON-EIC-2023-TRANSITION-01

Alle im Rahmen dieser Aufforderung zur Einreichung von Vorschlägen finanzierten Projekte anzeigen

Koordinator

LACE LITHOGRAPHY AS
Netto-EU-Beitrag

Finanzieller Nettobeitrag der EU. Der Geldbetrag, den der Beteiligte erhält, abzüglich des EU-Beitrags an mit ihm verbundene Dritte. Berücksichtigt die Aufteilung des EU-Finanzbeitrags zwischen den direkten Begünstigten des Projekts und anderen Arten von Beteiligten, wie z. B. Dritten.

€ 2 153 687,50
Adresse
THORMOHLENS GATE 51
5006 BERGEN
Norwegen

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KMU

Die Organisation definierte sich zum Zeitpunkt der Unterzeichnung der Finanzhilfevereinbarung selbst als KMU (Kleine und mittlere Unternehmen).

Ja
Aktivitätstyp
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Links
Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

€ 2 153 687,50

Beteiligte (1)

Mein Booklet 0 0