Ziel
The REALISE project aims (i) to develop an atomically controlled deposition process for high-k oxide layers as an enabling technology for a variety of innovative integrated circuit technologies and (ii) to advance fundamental knowledge of materials functionality in the areas of thin film growth, oxide-semiconductor interfaces, surface-precursor reactions and atomic-scale characterisation of dielectrics. These two global aims will be achieved by collaborative research across a range of disciplines.
No satisfactory process exists for depositing rare earth oxide films as high-k dielectrics at present. The process that is the subject of this project is atomic layer deposition (ALD), the leading technology for deposition of nanometre-scale films.
The project aims to overcome the current difficulties and limitations of rare earth oxide ALD, through project goals that span the entire process: design, synthesis, scale-up and testing of suitable precursors; characterisation of film quality and optimisation of deposition parameters. To investigate the functionality of rare earth oxides as dielectrics and to show the utility of ALD in the electronics industry, further goals of REALISE are: deposition onto variously-prepared semiconductor substrates (Si, Ge); high-resolution characterisation of the semiconductor-oxide interface; scale-up of new ALD process to industrially-sized Si wafers; testing of dielectric in capacitors for innovative memory (DRAM, NVM) and wireless (decoupling for RF) applications. REALISE thus brings together unique expertise to achieve urgently-needed materials integration solutions for the European semiconductor industry.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
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- Technik und Technologie Werkstofftechnik Beschichtung
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Elektromagnetismus und Elektronik Halbleiterbauelement
- Sozialwissenschaften Wirtschaftswissenschaften Business und Management Erwerbstätigkeit
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
FP6-2004-IST-NMP-2
Andere Projekte für diesen Aufruf anzeigen
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
CORK
Irland
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.