Praktische Grundlagen der Elektronik auf den neuesten Stand bringen
In unserer Zeit entwickelt sich Technik meist mit sehr hohem Tempo weiter. Wohl kaum irgendwo trifft dies mehr zu als in der Halbleiterindustrie. Will man hier in Europa an der Spitze dieses wichtigen Sektors bleiben, sind erhebliche Investitionen in Forschung und Entwicklung erforderlich. Das Realise-Projekt ("Rare earth oxide atomic layer deposition for innovation in electronics") forschte deshalb mithilfe der bewilligten EU-Mittel an der Modernisierung der Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD). Ziel war es, die Atomlagenabscheidung einzusetzen, um äußerst dünne Schichten - hier bewegt man sich im Nanometerbereich - aus seltenen Erden auf geeignete Substrate aufzubringen. Seltene Erden bieten den Vorteil einer sehr hohen Dielektrizitätskonstante, was im Halbleiterbereich tatsächlich eher selten vorkommt. Erfolgreiche Experimente im Labor ergaben schließlich einen kommerziell realisierbaren Prototyp. Der neue Prozess konnte dann eingesetzt werden, um eine Vielzahl von Speicherchips und Kondensatoren zu fertigen. Die Mitglieder des Realise-Konsortiums konnten in hohem Maße von ihrer Beteiligung an dem Projekt profitieren. Fachwissen konnte vor Ort entwickelt werden, während die innovativen Inhalte durch mehrere Patente geschützt wurden. Die Forschergemeinschaft erfuhr über eine Reihe von Konferenzen und Publikationen von den Innovationen.
