Objetivo
The overlay control budget for the 32nm technology node will be approximately 10nm according to the ITRS. The overlay metrology budget is typically 1/10 of the overlay control budget resulting in overlay metrology performance requirements of 1nm. Theoretical considerations show that overlay technology based on scatterometry has inherent advantages, which will allow it to achieve this strict requirement and go beyond it.
We have demonstrated a breakthrough scatterometry overlay technology in preliminary proof-of-concept experiments. The results of these studies are promising, and at this early stage position scatterometry as one of the leading contenders for the overlay technology for the 32nm node and beyond. We propose to carry out a thorough and detailed research program with the goal of transforming the promising concept into a well-developed technology, which meets the most strict overlay control requirements of the future.
The anticipated outcome of the project is an optimal methodology for a scatterometry overlay tool design, target design and algorithms, which allow overlay control with a significantly improved Total Measurement Uncertainty (TMU) and reduced systematic bias with respect to device structures, on layers fabricated with the most advanced processes and materials.
We will achieve this through extensive research in target design including the design and fabrication of a dedicated reticle. Extensive measurements of selected targets will be carried out on both RandD and production wafers. The project will also involve a substantial amount of simulations of the lithography process and of the scatterometry signal.
The success of the project will be ensured through a very close collaboration of the leading overlay metrology company worldwide with leading European research institution and semiconductor manufacturer. This consortium will augment the European leadership in the microelectronics industry.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica microelectrónica
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Datos no disponibles
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
23100 MIGDAL HAEMEK
Israel
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.