Cel
The overlay control budget for the 32nm technology node will be approximately 10nm according to the ITRS. The overlay metrology budget is typically 1/10 of the overlay control budget resulting in overlay metrology performance requirements of 1nm. Theoretical considerations show that overlay technology based on scatterometry has inherent advantages, which will allow it to achieve this strict requirement and go beyond it.
We have demonstrated a breakthrough scatterometry overlay technology in preliminary proof-of-concept experiments. The results of these studies are promising, and at this early stage position scatterometry as one of the leading contenders for the overlay technology for the 32nm node and beyond. We propose to carry out a thorough and detailed research program with the goal of transforming the promising concept into a well-developed technology, which meets the most strict overlay control requirements of the future.
The anticipated outcome of the project is an optimal methodology for a scatterometry overlay tool design, target design and algorithms, which allow overlay control with a significantly improved Total Measurement Uncertainty (TMU) and reduced systematic bias with respect to device structures, on layers fabricated with the most advanced processes and materials.
We will achieve this through extensive research in target design including the design and fabrication of a dedicated reticle. Extensive measurements of selected targets will be carried out on both RandD and production wafers. The project will also involve a substantial amount of simulations of the lithography process and of the scatterometry signal.
The success of the project will be ensured through a very close collaboration of the leading overlay metrology company worldwide with leading European research institution and semiconductor manufacturer. This consortium will augment the European leadership in the microelectronics industry.
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne elektromagnetyzm i elektronika urządzenie półprzewodnikowe
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne elektromagnetyzm i elektronika mikroelektronika
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Brak dostępnych danych
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Brak dostępnych danych
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Koordynator
23100 MIGDAL HAEMEK
Izrael
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.