Descripción del proyecto
Metrología de semiconductores de gran angular y altísima resolución
Medir características en piezas pequeñas y planas, como las obleas de semiconductores, suele implicar el uso de lupas para observar ciertas zonas y mover los componentes a través de una plataforma para cuantificar todas las piezas. La medición en el campo visual (CV), es decir, medir dentro de todo el campo visual, podría reducir de forma notable el tiempo y la complejidad de la metrología de obleas de semiconductores. La pyme española WOOPTIX ha desarrollado un sistema de metrología de campo visual basado en imágenes de fase de frente de onda para medir la geometría completa de la oblea de silicio de 300 mm con una resolución lateral de 3,2 µm y una resolución de altura de 0,3 nm en una sola imagen instantánea en 100 ms. El proyecto WARM, financiado por el Consejo Europeo de Innovación, respaldará los esfuerzos de ampliación del sistema a fin de comercializar este tecnología de metrología innovadora.
Objetivo
WOOPTIX will upgrade to a 300mm field of view (FoV) metrology system a ready-to-market 50mm field of view Wooptixs tool, based on a disruptive technology that measures the phase component of a beam of light (wavefront sensor) with a naked sensor, reaching a resolution orders of
magnitude higher than other wavefront sensors. This technology has been patented by the company. The scalability of the solution will present an outstanding business opportunity for WOOPTIX leading the company to achieve an amazing turnover rise. Our semiconductor metrology system is capable
of measuring the full 300mm silicon wafer geometry with a lateral resolution of 3.2m and a height resolution of 0.3nm acquired in a single image snapshot in 100ms while capturing 15 million data points. The system works by using a standard digital image sensor to acquire the intensity of
the reflected, non-coherent light from the silicon surface at two sperate locations along the optical path.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ingeniería y tecnología ingeniería eléctrica, ingeniería electrónica, ingeniería de la información ingeniería electrónica sensores
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Palabras clave
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
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HORIZON.3.1 - The European Innovation Council (EIC)
PROGRAMA PRINCIPAL
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HORIZON.3.1.2 - The Accelerator
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Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
HORIZON-EIC-ACC-BF - HORIZON EIC Accelerator Blended Finance
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Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
(se abrirá en una nueva ventana) HORIZON-EIC-2021-ACCELERATOROPEN-01
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Aportación financiera neta de la UE. Es la suma de dinero que recibe el participante, deducida la aportación de la UE a su tercero vinculado. Considera la distribución de la aportación financiera de la UE entre los beneficiarios directos del proyecto y otros tipos de participantes, como los terceros participantes.
28009 MADRID
España
Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención.
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.