Descrizione del progetto
Una metrologia dei semiconduttori a risoluzione estremamente alta e grandangolare
La misurazione di caratteristiche su componenti piccoli e piatti, quali i wafer semiconduttori, implica generalmente l’ingrandimento di determinate aree e lo spostamento di tali componenti mediante un modulo per la misurazione di tutte le parti. La misurazione del campo visivo, ossia la misurazione all’interno dell’intero campo visivo, potrebbe ridurre notevolmente i tempi e la complessità della metrologia dei wafer semiconduttori. La PMI spagnola WOOPTIX ha sviluppato un sistema di metrologia del campo visivo basato sull’imaging di fase a fronte d’onda per misurare l’intera geometria di un wafer di silicio da 300 mm con una risoluzione laterale di 3,2 µm e una risoluzione dell’altezza di 0,3 nm in un’unica immagine istantanea in 100 ms. Il progetto WARM, finanziato dal CEI, sosterrà l’impegno di ampliamento su scala industriale con l’obiettivo di commercializzare questa rivoluzionaria tecnologia di metrologia.
Obiettivo
WOOPTIX will upgrade to a 300mm field of view (FoV) metrology system a ready-to-market 50mm field of view Wooptix´s tool, based on a disruptive technology that measures the phase component of a beam of light (wavefront sensor) with a naked sensor, reaching a resolution orders of
magnitude higher than other wavefront sensors. This technology has been patented by the company. The scalability of the solution will present an outstanding business opportunity for WOOPTIX leading the company to achieve an amazing turnover rise. Our semiconductor metrology system is capable
of measuring the full 300mm silicon wafer geometry with a lateral resolution of 3.2µm and a height resolution of 0.3nm acquired in a single image snapshot in 100ms while capturing 15 million data points. The system works by using a standard digital image sensor to acquire the intensity of
the reflected, non-coherent light from the silicon surface at two sperate locations along the optical path.
Campo scientifico
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP.
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Programma(i)
Invito a presentare proposte
HORIZON-EIC-2021-ACCELERATOROPEN-01
Vedi altri progetti per questo bandoMeccanismo di finanziamento
HORIZON-EIC-ACC-BF - HORIZON EIC Accelerator Blended FinanceCoordinatore
28009 MADRID
Spagna
L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione.