Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski polski
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS

Wide Angle and Resolution Metrology

Opis projektu

Metrologia półprzewodników o niezwykle wysokiej rozdzielczości z wykorzystaniem optyki szerokokątnej

Tradycyjne pomiary wykonywane na małych, płaskich częściach, takich jak płytki półprzewodnikowe, wymagają powiększenia pewnych obszarów i przemieszczania znajdujących się w nich komponentów. Pomiar w polu widzenia (ang. field of view, FOV), obejmujący całe pole widzenia, mógłby znacząco ograniczyć czas i stopień skomplikowania metrologii płytek półprzewodnikowych. Zespół z hiszpańskiej firmy WOOPTIX działającej w sektorze MŚP opracował system metrologii FOV oparty na obrazowaniu fazowym czoła fali do pomiaru pełnej geometrii płytki krzemowej 300 mm z rozdzielczością poprzeczną wynoszącą 3,2 µm oraz rozdzielczością o wysokości równej 0,3 nm w ramach jednego ujęcia w ciągu 100 ms. Celem finansowanego przez Europejską Radę Innowacji projektu WARM jest wsparcie działań mających na celu zwiększenie skali rozwiązania i wprowadzenie tej przełomowej technologii metrologicznej na rynek.

Cel

WOOPTIX will upgrade to a 300mm field of view (FoV) metrology system a ready-to-market 50mm field of view Wooptixs tool, based on a disruptive technology that measures the phase component of a beam of light (wavefront sensor) with a naked sensor, reaching a resolution orders of
magnitude higher than other wavefront sensors. This technology has been patented by the company. The scalability of the solution will present an outstanding business opportunity for WOOPTIX leading the company to achieve an amazing turnover rise. Our semiconductor metrology system is capable
of measuring the full 300mm silicon wafer geometry with a lateral resolution of 3.2m and a height resolution of 0.3nm acquired in a single image snapshot in 100ms while capturing 15 million data points. The system works by using a standard digital image sensor to acquire the intensity of
the reflected, non-coherent light from the silicon surface at two sperate locations along the optical path.

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Słowa kluczowe

Słowa kluczowe dotyczące projektu wybrane przez koordynatora projektu. Nie należy mylić ich z pojęciami z taksonomii EuroSciVoc dotyczącymi dziedzin nauki.

Program(-y)

Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

HORIZON-EIC-ACC-BF - HORIZON EIC Accelerator Blended Finance

Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego programu finansowania

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

(odnośnik otworzy się w nowym oknie) HORIZON-EIC-2021-ACCELERATOROPEN-01

Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego zaproszenia

Koordynator

WOOPTIX SL
Wkład UE netto

Kwota netto dofinansowania ze środków Unii Europejskiej. Suma środków otrzymanych przez uczestnika, pomniejszona o kwotę unijnego dofinansowania przekazanego powiązanym podmiotom zewnętrznym. Uwzględnia podział unijnego dofinansowania pomiędzy bezpośrednich beneficjentów projektu i pozostałych uczestników, w tym podmioty zewnętrzne.

€ 2 500 000,00
Adres
CALLE VELAZQUEZ, 110
28009 MADRID
Hiszpania

Zobacz na mapie

MŚP

Organizacja określiła się jako MŚP (firma z sektora małych i średnich przedsiębiorstw) w czasie podpisania umowy o grant.

Tak
Region
Comunidad de Madrid Comunidad de Madrid Madrid
Rodzaj działalności
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Linki
Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

€ 6 357 210,00
Moja broszura 0 0