Projektbeschreibung
Extrem hochauflösende Weitwinkel-Halbleitermetrologie
Bei der Ausmessung von Merkmalen auf kleinen, flachen Bauteilen wie beispielsweise Halbleiterwafern werden üblicherweise bestimmte Bereiche vergrößert und die Komponenten über einen Objekttisch bewegt, um alle Teile zu messen. Die Vermessung des Sichtfelds, d. h. die Messung innerhalb des gesamten Blickwinkels, könnte den Zeitaufwand und die Komplexität der Halbleiterwafermetrologie erheblich reduzieren. Das spanische KMU WOOPTIX hat ein Sichtfeld-Metrologiesystem auf der Basis der Wellenfrontphasenabbildung entwickelt, das die gesamte 300-mm-Siliziumwafergeometrie mit einer lateralen Auflösung von 3,2 µm und einer Höhenauflösung von 0,3 nm in einer einzigen Momentaufnahme in 100 ms ausmessen kann. Das EIC-finanzierte Projekt WARM wird die Bemühungen um Maßstabserweiterung unterstützen, um diese bahnbrechende Messtechnologie auf den Markt zu bringen.
Ziel
WOOPTIX will upgrade to a 300mm field of view (FoV) metrology system a ready-to-market 50mm field of view Wooptix´s tool, based on a disruptive technology that measures the phase component of a beam of light (wavefront sensor) with a naked sensor, reaching a resolution orders of
magnitude higher than other wavefront sensors. This technology has been patented by the company. The scalability of the solution will present an outstanding business opportunity for WOOPTIX leading the company to achieve an amazing turnover rise. Our semiconductor metrology system is capable
of measuring the full 300mm silicon wafer geometry with a lateral resolution of 3.2µm and a height resolution of 0.3nm acquired in a single image snapshot in 100ms while capturing 15 million data points. The system works by using a standard digital image sensor to acquire the intensity of
the reflected, non-coherent light from the silicon surface at two sperate locations along the optical path.
Wissenschaftliches Gebiet
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht.
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- social sciencesmedia and communicationsgraphic design
- engineering and technologyelectrical engineering, electronic engineering, information engineeringelectronic engineeringsensors
- natural sciencesphysical scienceselectromagnetism and electronicssemiconductivity
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Schlüsselbegriffe
Programm/Programme
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
HORIZON-EIC-2021-ACCELERATOROPEN-01
Andere Projekte für diesen Aufruf anzeigenFinanzierungsplan
HORIZON-EIC-ACC-BF - HORIZON EIC Accelerator Blended FinanceKoordinator
28009 MADRID
Spanien
Die Organisation definierte sich zum Zeitpunkt der Unterzeichnung der Finanzhilfevereinbarung selbst als KMU (Kleine und mittlere Unternehmen).