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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
CORDIS
Inhalt archiviert am 2024-06-18

Hybrid Nano-Electro-Mechanical / Integrated Circuit Systems for Sensing and Power Management Applications

Projektbeschreibung


Micro/nanosystems

NEMSIC addresses the future intelligent sensor and actuator systems in which solid-state semiconductor micro/nanodevices and micro/nano-mechanical devices are co-integrated for new functionalities and increased performance.The project proposes the exploration and development of low power sensing micro/nanosystems based on Nano-Electro-Mechanical (NEM) structures integrated on a Silicon-On-Insulator (SOI) or Silicon-On-Nothing (SON) technological platform. The applications that drive the technological NEM-based smart system demonstrators are gas (COx, NOx, SOx) and biological sensing (DNA, proteins and other molecules), dedicated to critical environment monitoring and applications in the fields of genetics, pharmacology and drug discovery. NEM technology will be combined with silicon CMOS technology involving novelty and scientific/technical challenges at three levels: (i) system level, addressing the challenge of true nano-micro interfaces, where signals detected by arrays of nanostructures are processed by smartly designed low power CMOS circuitry, (ii) device level, where novel true hybrid NEM-FET devices support new highly sensitive detection scheme and power management via sleep switches and (iii) technology level, where nanotechnology processes (top down processed nanobeams and nanogaps, featuring sub-100nm dimensions) will be developed and combined with advanced functionalization techniques for dedicated sensing that stays compatible with CMOS in future IC-embedded or post-IC approaches. The reliability of the NEM structures, combined with prospects for 0-level packaging are studied as key challenges for the success of such Nano-electro-mechanical-system-integrated-circuits (NEMSIC).Finally, NEMSIC is expected to provide the end-users with flexible design methodologies based on advanced but well-controlled SOI or SON technology platforms, with predictable performances and associated cost effectiveness.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

FP7-ICT-2007-2
Andere Projekte für diesen Aufruf anzeigen

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

CP - Collaborative project (generic)

Koordinator

ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE
EU-Beitrag
€ 510 503,00
Adresse
BATIMENT CE 3316 STATION 1
1015 LAUSANNE
Schweiz

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Region
Schweiz/Suisse/Svizzera Région lémanique Vaud
Aktivitätstyp
Higher or Secondary Education Establishments
Links
Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten

Beteiligte (9)

Mein Booklet 0 0