Ziel
The objectives of the TRIO-VAMP SEA are to evaluate the TRIO at a semiconductor manufacturing facility, together with an equipment manufacturer, in order to obtain:
qualification for a new generation of dry vacuum pump, including treatment of waste gases, for critical manufacturing processes, e.g. metal etching, with leading U.S. fabrication equipment
cost-of-ownership figures in running production for reference and competitive sales
assessment of functionality in crucial running regimes for further improvements
established references from semiconductor manufacturing end-users and guarantee of compatibility from major equipment manufacturers for optional purchase by future customers
The proposed evaluation will give Leybold the unique opportunity to have its equipment evaluated by an industrial user as well as a wafer fabrication equipment maker. A broad base of fab managers, facilities managers, and processes are included in the evaluation.
In order to meet the customer needs for more efficient, cost-effective vacuum/ abatement/monitoring methods, Leybold Vakuum GmbH developed a new component system in a joint venture with DAS GmbH, a leading European waste gas abatement specialists. This system, TRIO, comprises a dry vacuum pump, hazardous waste gas abatement, and monitoring of status, including control. This new concept was introduced to the market at Semicon-Europa (April 1996), where the prototype attracted a lot of attention. Leybold assumes product responsibility and asks a major IC fab and the worldwide leading equipment manufacturer to support TRIO by participating in an SEA project.
Expected results include reduction of CoO for vacuum/abatement/monitoring through high mean-time-between-failure, low mean-time-to-repair, and high abatement efficiency.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
- Technik und Technologie Maschinenbau Produktionstechnik
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Elektromagnetismus und Elektronik Halbleiterbauelement
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Daten nicht verfügbar
Koordinator
85356 FREISING
Deutschland
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.