Obiettivo
The objectives of the TRIO-VAMP SEA are to evaluate the TRIO at a semiconductor manufacturing facility, together with an equipment manufacturer, in order to obtain:
qualification for a new generation of dry vacuum pump, including treatment of waste gases, for critical manufacturing processes, e.g. metal etching, with leading U.S. fabrication equipment
cost-of-ownership figures in running production for reference and competitive sales
assessment of functionality in crucial running regimes for further improvements
established references from semiconductor manufacturing end-users and guarantee of compatibility from major equipment manufacturers for optional purchase by future customers
The proposed evaluation will give Leybold the unique opportunity to have its equipment evaluated by an industrial user as well as a wafer fabrication equipment maker. A broad base of fab managers, facilities managers, and processes are included in the evaluation.
In order to meet the customer needs for more efficient, cost-effective vacuum/ abatement/monitoring methods, Leybold Vakuum GmbH developed a new component system in a joint venture with DAS GmbH, a leading European waste gas abatement specialists. This system, TRIO, comprises a dry vacuum pump, hazardous waste gas abatement, and monitoring of status, including control. This new concept was introduced to the market at Semicon-Europa (April 1996), where the prototype attracted a lot of attention. Leybold assumes product responsibility and asks a major IC fab and the worldwide leading equipment manufacturer to support TRIO by participating in an SEA project.
Expected results include reduction of CoO for vacuum/abatement/monitoring through high mean-time-between-failure, low mean-time-to-repair, and high abatement efficiency.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- ingegneria e tecnologia ingegneria meccanica ingegnerizzazione dei prodotti
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica semiconduttività
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Dati non disponibili
Coordinatore
85356 FREISING
Germania
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.