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CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
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Contenu archivé le 2024-06-18

Nanoengineering of self-forming diffusion barriers for interconnect technologies

Objectif

At present, copper is the material of choice in the current processing technology for advanced semiconductor devices interconnects. However, the high diffusion rate between copper and silicon or silicon oxides requires the development of physical barriers to prevent interdiffusion across the interfaces. The thickness of the currently used barriers makes them an unviable option as the semiconductor industry moves from the 45 nm node to 32 nm and beyond, and alternative approaches are required. Some groups have proposed the use of the so called self-forming barriers, which have the potential to overcome the shortcomings of the current approaches. The aim of this project is to characterize and understand the formation of self-forming diffusion barriers layers for transistor interconnects and to optimize the creation process for future generations of device technology, in the framework of a network of European collaborations involving leading laboratories. With this purpose, the candidate will develop and apply a methodology of analysis based on electron beam related techniques in order to study these structures and interfaces at the atomic scale. Among others, aberration-corrected scanning transmission electron microscopy and three dimensional characterization techniques will allow the structure; composition and homogeneity of the barrier layers to be investigated while still remain sandwiched. A promising new technique that will be applied to this system will be scanning confocal electron microscopy (SCEM), which in theory is ideally suited to analytical work on systems with extended planar geometries. Indeed, the researcher in charge at the University of Oxford, is a world reference of leadership in the use of high resolution scanning transmission electron microscopy and in the development of SCEM. This stay abroad will provide the candidate a maturity and an expertise level in this scientific field, essential to develop an independent research career.

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.

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Programme(s)

Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.

Thème(s)

Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.

Appel à propositions

Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.

FP7-PEOPLE-2009-IEF
Voir d’autres projets de cet appel

Régime de financement

Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.

MC-IEF - Intra-European Fellowships (IEF)

Coordinateur

THE CHANCELLOR, MASTERS AND SCHOLARS OF THE UNIVERSITY OF OXFORD
Contribution de l’UE
€ 173 240,80
Adresse
WELLINGTON SQUARE UNIVERSITY OFFICES
OX1 2JD Oxford
Royaume-Uni

Voir sur la carte

Région
South East (England) Berkshire, Buckinghamshire and Oxfordshire Oxfordshire
Type d’activité
Higher or Secondary Education Establishments
Liens
Coût total

Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.

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