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CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
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Contenido archivado el 2024-06-18

Rare Earth Oxide Dielectrics for Advanced Germanium CMOS Technology

Objetivo

"The training activities will cover the area of advanced CMOS with special attention on suitable gate dielectrics for high carrier mobility germanium substrates. Since strained Si, especially for nMOS, is running out of steam, high mobility channels could be an alternative option for future 11 nm node and beyond. A Ge CMOS is preferable due to processing simplicity in a Si-compatible flow, however it has remained elusive for several years due to the underperformance of nMOS transistors. During the last year, a large progress in Ge nMOSFETs has been observed which gave new momentum to this field. The key enabler for the success is the development of a good quality thick GeO2 gate dielectric which however is not scalable. In this project, we will look for alternative passivating layer/gate dielectric stacks
based on rare earth oxides which have equal or better quality when compared to GeO2 but also a better scalability to EOT values close to 1 nm fulfilling the technology requirements. Starting from La as a model material, we will extend our studies to other rare earth elements to show that rare earths modify drastically the Ge surface chemistry during oxidation and by forming stable germanates suppress interface defects and GeO volatilization maintaining high integrity dielectric/Ge interfaces. The fellowship will strengthen the already existing expertise and reputation of the host institution on Ge technology and will help the fellow to expand his knowledge and skills into an area of importance for the industry, giving him the opportunity for a career at a later stage in the semiconductor industry."

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..

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Programa(s)

Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.

Tema(s)

Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.

Convocatoria de propuestas

Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.

FP7-PEOPLE-2010-IEF
Consulte otros proyectos de esta convocatoria

Régimen de financiación

Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.

MC-IEF - Intra-European Fellowships (IEF)

Coordinador

"NATIONAL CENTER FOR SCIENTIFIC RESEARCH ""DEMOKRITOS"""
Aportación de la UE
€ 157 720,00
Dirección
END OF PATRIARCHOU GRIGORIOU E AND 27 NEAPOLEOS STREET
153 41 AGIA PARASKEVI
Grecia

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Región
Αττική Aττική Βόρειος Τομέας Αθηνών
Tipo de actividad
Research Organisations
Enlaces
Coste total

Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.

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