Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski polski
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS
Zawartość zarchiwizowana w dniu 2024-06-18

Rare Earth Oxide Dielectrics for Advanced Germanium CMOS Technology

Cel

"The training activities will cover the area of advanced CMOS with special attention on suitable gate dielectrics for high carrier mobility germanium substrates. Since strained Si, especially for nMOS, is running out of steam, high mobility channels could be an alternative option for future 11 nm node and beyond. A Ge CMOS is preferable due to processing simplicity in a Si-compatible flow, however it has remained elusive for several years due to the underperformance of nMOS transistors. During the last year, a large progress in Ge nMOSFETs has been observed which gave new momentum to this field. The key enabler for the success is the development of a good quality thick GeO2 gate dielectric which however is not scalable. In this project, we will look for alternative passivating layer/gate dielectric stacks
based on rare earth oxides which have equal or better quality when compared to GeO2 but also a better scalability to EOT values close to 1 nm fulfilling the technology requirements. Starting from La as a model material, we will extend our studies to other rare earth elements to show that rare earths modify drastically the Ge surface chemistry during oxidation and by forming stable germanates suppress interface defects and GeO volatilization maintaining high integrity dielectric/Ge interfaces. The fellowship will strengthen the already existing expertise and reputation of the host institution on Ge technology and will help the fellow to expand his knowledge and skills into an area of importance for the industry, giving him the opportunity for a career at a later stage in the semiconductor industry."

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Program(-y)

Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

FP7-PEOPLE-2010-IEF
Zobacz inne projekty w ramach tego zaproszenia

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

MC-IEF - Intra-European Fellowships (IEF)

Koordynator

"NATIONAL CENTER FOR SCIENTIFIC RESEARCH ""DEMOKRITOS"""
Wkład UE
€ 157 720,00
Adres
END OF PATRIARCHOU GRIGORIOU E AND 27 NEAPOLEOS STREET
153 41 AGIA PARASKEVI
Grecja

Zobacz na mapie

Region
Αττική Aττική Βόρειος Τομέας Αθηνών
Rodzaj działalności
Research Organisations
Linki
Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

Brak danych
Moja broszura 0 0