Skip to main content
Aller à la page d’accueil de la Commission européenne (s’ouvre dans une nouvelle fenêtre)
français français
CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
CORDIS
Contenu archivé le 2024-06-18

Rare Earth Oxide Dielectrics for Advanced Germanium CMOS Technology

Objectif

"The training activities will cover the area of advanced CMOS with special attention on suitable gate dielectrics for high carrier mobility germanium substrates. Since strained Si, especially for nMOS, is running out of steam, high mobility channels could be an alternative option for future 11 nm node and beyond. A Ge CMOS is preferable due to processing simplicity in a Si-compatible flow, however it has remained elusive for several years due to the underperformance of nMOS transistors. During the last year, a large progress in Ge nMOSFETs has been observed which gave new momentum to this field. The key enabler for the success is the development of a good quality thick GeO2 gate dielectric which however is not scalable. In this project, we will look for alternative passivating layer/gate dielectric stacks
based on rare earth oxides which have equal or better quality when compared to GeO2 but also a better scalability to EOT values close to 1 nm fulfilling the technology requirements. Starting from La as a model material, we will extend our studies to other rare earth elements to show that rare earths modify drastically the Ge surface chemistry during oxidation and by forming stable germanates suppress interface defects and GeO volatilization maintaining high integrity dielectric/Ge interfaces. The fellowship will strengthen the already existing expertise and reputation of the host institution on Ge technology and will help the fellow to expand his knowledge and skills into an area of importance for the industry, giving him the opportunity for a career at a later stage in the semiconductor industry."

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.

Vous devez vous identifier ou vous inscrire pour utiliser cette fonction

Programme(s)

Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.

Thème(s)

Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.

Appel à propositions

Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.

FP7-PEOPLE-2010-IEF
Voir d’autres projets de cet appel

Régime de financement

Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.

MC-IEF - Intra-European Fellowships (IEF)

Coordinateur

"NATIONAL CENTER FOR SCIENTIFIC RESEARCH ""DEMOKRITOS"""
Contribution de l’UE
€ 157 720,00
Adresse
END OF PATRIARCHOU GRIGORIOU E AND 27 NEAPOLEOS STREET
15 341 AGIA PARASKEVI
Grèce

Voir sur la carte

Région
Αττική Aττική Βόρειος Τομέας Αθηνών
Type d’activité
Research Organisations
Liens
Coût total

Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.

Aucune donnée
Mon livret 0 0