Objectif
"A less-well known aspect of Moore's law is the need for increased drive current of the transistors. In addition to traditional dimensional scaling, recent work to improve the drive current is increasingly based on alternative materials with higher carrier mobility. When replacing silicon with III-V compound semiconductors as the channel material in CMOS devices, the main problem is the passivation of the interface between the channel and the gate dielectric due to defects created at the III-V surface by the formation of native oxides. It is important to either remove these defects or avoid their formation before the deposition of the gate dielectric to achieve acceptable electronic performance. The most promising gate dielectric for III-V materials is Al2O3 when grown by atomic layer deposition (ALD). Although ALD Al2O3 provides native-oxide-free interfaces with GaAs, the interface defect density is still much larger than on silicon and it is necessary to avoid the oxidation of the surface prior to gate dielectric deposition. Since GaAs has been reported as being deposited epitaxially by ALD, this will be a means to generate defect free surfaces. But to be effective, this must be combined with a clustered deposition of Al2O3 without any air break. The use of in-situ analysis tools in combination with a clustered deposition tool provide an ideal means to study the initial stages of ALD on III-V surfaces and the interface formation since all air exposure will be avoided. In-situ analysis during ALD has been done before, but never with a combination of analysis tools used on the same sample. Since no prior tools combining clustered ALD of both GaAs and Al2O3 and in-situ characterization techniques exist, a major part of the proposed work will be the design and the assembly of a clustered ALD deposition tool. By enabling such a combination, this project will provide the clearest insight into the growth mechanisms of ALD and of III-V interfaces to date."
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- sciences naturelles sciences chimiques électrochimie électrolyse
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métalloïde
- sciences sociales droit
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
FP7-PEOPLE-2010-RG
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Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
3001 Leuven
Belgique
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.