Ziel
"A less-well known aspect of Moore's law is the need for increased drive current of the transistors. In addition to traditional dimensional scaling, recent work to improve the drive current is increasingly based on alternative materials with higher carrier mobility. When replacing silicon with III-V compound semiconductors as the channel material in CMOS devices, the main problem is the passivation of the interface between the channel and the gate dielectric due to defects created at the III-V surface by the formation of native oxides. It is important to either remove these defects or avoid their formation before the deposition of the gate dielectric to achieve acceptable electronic performance. The most promising gate dielectric for III-V materials is Al2O3 when grown by atomic layer deposition (ALD). Although ALD Al2O3 provides native-oxide-free interfaces with GaAs, the interface defect density is still much larger than on silicon and it is necessary to avoid the oxidation of the surface prior to gate dielectric deposition. Since GaAs has been reported as being deposited epitaxially by ALD, this will be a means to generate defect free surfaces. But to be effective, this must be combined with a clustered deposition of Al2O3 without any air break. The use of in-situ analysis tools in combination with a clustered deposition tool provide an ideal means to study the initial stages of ALD on III-V surfaces and the interface formation since all air exposure will be avoided. In-situ analysis during ALD has been done before, but never with a combination of analysis tools used on the same sample. Since no prior tools combining clustered ALD of both GaAs and Al2O3 and in-situ characterization techniques exist, a major part of the proposed work will be the design and the assembly of a clustered ALD deposition tool. By enabling such a combination, this project will provide the clearest insight into the growth mechanisms of ALD and of III-V interfaces to date."
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
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- Naturwissenschaften Chemiewissenschaften Elektrochemie Elektrolyse
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Elektromagnetismus und Elektronik Halbleiterbauelement
- Naturwissenschaften Chemiewissenschaften anorganische Chemie Metalloide
- Sozialwissenschaften Rechtswissenschaften
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
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Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
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Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
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FP7-PEOPLE-2010-RG
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Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
3001 Leuven
Belgien
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.