Cel
"A less-well known aspect of Moore's law is the need for increased drive current of the transistors. In addition to traditional dimensional scaling, recent work to improve the drive current is increasingly based on alternative materials with higher carrier mobility. When replacing silicon with III-V compound semiconductors as the channel material in CMOS devices, the main problem is the passivation of the interface between the channel and the gate dielectric due to defects created at the III-V surface by the formation of native oxides. It is important to either remove these defects or avoid their formation before the deposition of the gate dielectric to achieve acceptable electronic performance. The most promising gate dielectric for III-V materials is Al2O3 when grown by atomic layer deposition (ALD). Although ALD Al2O3 provides native-oxide-free interfaces with GaAs, the interface defect density is still much larger than on silicon and it is necessary to avoid the oxidation of the surface prior to gate dielectric deposition. Since GaAs has been reported as being deposited epitaxially by ALD, this will be a means to generate defect free surfaces. But to be effective, this must be combined with a clustered deposition of Al2O3 without any air break. The use of in-situ analysis tools in combination with a clustered deposition tool provide an ideal means to study the initial stages of ALD on III-V surfaces and the interface formation since all air exposure will be avoided. In-situ analysis during ALD has been done before, but never with a combination of analysis tools used on the same sample. Since no prior tools combining clustered ALD of both GaAs and Al2O3 and in-situ characterization techniques exist, a major part of the proposed work will be the design and the assembly of a clustered ALD deposition tool. By enabling such a combination, this project will provide the clearest insight into the growth mechanisms of ALD and of III-V interfaces to date."
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
- nauki przyrodnicze nauki chemiczne elektrochemia elektroliza
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne elektromagnetyzm i elektronika urządzenie półprzewodnikowe
- nauki przyrodnicze nauki chemiczne chemia nieorganiczna metaloidy
- nauki społeczne prawo
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
FP7-PEOPLE-2010-RG
Zobacz inne projekty w ramach tego zaproszenia
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Koordynator
3001 Leuven
Belgia
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.