Extreme UV concept lithographic development system

Projektinformationen

EUCLIDES

ID Finanzhilfevereinbarung: 28160

Projekt abgeschlossen

Startdatum 1 August 1998

Enddatum 31 Januar 2000

Finanziert unter

• Specific research and technological development programme in the field of information technologies, 1994-1998

Gesamtkosten € 10 000 000,00

EU-Beitrag € 5 000 000,00

Koordiniert durch

ASM Lithography B.V.
Niederlande

Programm/Programme

• FP4-ESPRIT 4 - Specific research and technological development programme in the field of information technologies, 1994-1998

Thema/Themen

• 2.8 - Semiconductors - Building blocks, methods & tools

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Daten nicht verfügbar

Finanzierungsplan

CSC -

Koordinator

ASM Lithography B.V.

• EU-Beitrag: Keine Daten
• Adresse: De Run 1110 ; 5503 LA Veldhoven ; Niederlande
• Gesamtkosten: Keine Daten

Beteiligte (2)

CARL ZEISS

Deutschland

• EU-Beitrag: Keine Daten
• Adresse: Carl-Zeiss-Str. 4-54 ; 73447 OBERKOCHEN
• Gesamtkosten: Keine Daten

Oxford Instruments Plc

Vereinigtes Königreich

• EU-Beitrag: Keine Daten
• Adresse: Old Station Road, Eynsham ; OX8 1TL Witney
• Gesamtkosten: Keine Daten