Auf dem Weg zu extrem-ultravioletter Lithografie
Moore's Law verdeutlicht neben dem im Halbleiterbereich erzielten Fortschritt auch anschaulich die Intensität des Wettbewerbs zwischen den Branchen. Dieses Fortschrittstempo wird sich eines Tages auf Grund erwarteter physikalischer und technischer Beschränkungen verlangsamen. Außerdem entsteht Bedarf nach gewaltigen Investitionen. Insbesondere Hersteller integrierter Schaltkreise bedürfen zur Etablierung eines erfolgreichen Unternehmens einer kontinuierlichen Produkt- und Prozessentwicklung. Ein Konsortium europäischer Branchen hat ein Forschungs- und Entwicklungsprogramm zur Bewertung extrem-ultravioletter Lithografie aufgelegt. Lithografie im Zusammenhang mit integrierten Schaltkreisen ist ein kompliziertes Druckverfahren, das zur Übertragung von Schaltkreismustern auf Silicium-Halbleiterscheiben verwendet wird. Obgleich es vom Prinzip her dem fotolithografischen Verfahren ähnelt, ist die Herstellung hochmoderner Bausteine mit strengen Beschränkungen verbunden und erfordert andere Verfahren. Derzeit kommt in der Massenfertigung die Methode der optischen Lithografie zum Einsatz, die ihren Namen von der Verwendung sichtbaren bzw. ultravioletten Lichts ableitet. Je kürzer die Wellenlängen des verwendeten Lichts, desto kleiner sind die Muster, die auf die Halbleiterscheibe gedruckt werden können. Angefangen mit Blau bei 436 Nanometer, gehen die Wellenlängen bis zu Ultraviolett bei 248 Nanometer hinunter. Das derzeit laufende Projekt setzt sich mit den Problemen auseinander, die mit der Verwendung extrem-ultravioletten Lichts verbunden sind, und rechnet mit einer kommerziellen Umsetzung solcher lithografischer Verfahren bis 2008. Dabei wird Licht von 70 Nanometer und darunter verwendet. Durch die Weiterentwicklung der Fertigungstechnologien werden die Hersteller integrierter Schaltkreise in der Lage sein, neue Produkte zu entwickeln und auf dem globalen Markt wettbewerbsfähig zu bleiben. Außerdem entwickeln Projektpartner zur Gewährleistung realisierbarer Systemkonzepte Ausrüstungen in Form von Modulen, so dass die Branchen im Zuge der steigenden technologischen Anforderungen ihre Systeme aufrüsten und gleichzeitig ihre ursprüngliche Investition beibehalten können.