Objectif
The semiconductor industry is a multibillion-dollar endeavor situated at the heart of the modern world. During the development and production of semiconductor devices things can go wrong, and the source of the problems must be analyzed. This is the impetus for another large industry aimed at providing methods for failure analysis (FA) of semiconductor devices. FA systems make use of a variety of sophisticated techniques that provide a wealth of information at very high spatial resolutions. However, current techniques have limitations, especially regarding the non-destructive measurement of the internal structure and material composition of the devices.
Electron spin resonance (ESR) is a well-established technique for the characterization and imaging of paramagnetic materials. In semiconductors, ESR has been used extensively to study paramagnetic properties such as crystal impurities, defects, and dopants that greatly affect the devices’ performance. However, conventional ESR has very limited sensitivity and image resolution, making it unattractive for the study of the sub-micron-scale devices that are in use today. Our current ERC project has recently resulted in a method that improves ESR sensitivity by about 3 orders of magnitude compared to commercial systems. We also enhanced the spatial resolution of ESR-based images to the 100-nm length scale. Such capabilities heighten ESR’s attractiveness as a potential semiconductor-inspection tool. The purpose of the proposed project is to develop a demonstration prototype of a one-sided ESR imaging probe based upon this new methodology. This probe will examine semiconductor wafers and analyze their properties, composition, and structure in a non-destructive manner. We will also provide market research on the field of FA and examine how our new method fits into it. Special attention will be paid to strengthening IP protection for our idea and to finding means to attract more funds to commercialize this technology.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
ERC-2011-PoC
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Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Institution d’accueil
32000 Haifa
Israël
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.