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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2024-06-18

Electron Spin Resonance Nano-Imaging for the Analysis of Semiconductor Devices

Ziel

The semiconductor industry is a multibillion-dollar endeavor situated at the heart of the modern world. During the development and production of semiconductor devices things can go wrong, and the source of the problems must be analyzed. This is the impetus for another large industry aimed at providing methods for failure analysis (FA) of semiconductor devices. FA systems make use of a variety of sophisticated techniques that provide a wealth of information at very high spatial resolutions. However, current techniques have limitations, especially regarding the non-destructive measurement of the internal structure and material composition of the devices.
Electron spin resonance (ESR) is a well-established technique for the characterization and imaging of paramagnetic materials. In semiconductors, ESR has been used extensively to study paramagnetic properties such as crystal impurities, defects, and dopants that greatly affect the devices’ performance. However, conventional ESR has very limited sensitivity and image resolution, making it unattractive for the study of the sub-micron-scale devices that are in use today. Our current ERC project has recently resulted in a method that improves ESR sensitivity by about 3 orders of magnitude compared to commercial systems. We also enhanced the spatial resolution of ESR-based images to the 100-nm length scale. Such capabilities heighten ESR’s attractiveness as a potential semiconductor-inspection tool. The purpose of the proposed project is to develop a demonstration prototype of a one-sided ESR imaging probe based upon this new methodology. This probe will examine semiconductor wafers and analyze their properties, composition, and structure in a non-destructive manner. We will also provide market research on the field of FA and examine how our new method fits into it. Special attention will be paid to strengthening IP protection for our idea and to finding means to attract more funds to commercialize this technology.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

ERC-2011-PoC
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Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

CSA-SA(POC) - Supporting action (Proof of Concept)

Gastgebende Einrichtung

TECHNION - ISRAEL INSTITUTE OF TECHNOLOGY
EU-Beitrag
€ 149 820,00
Adresse
SENATE BUILDING TECHNION CITY
32000 Haifa
Israel

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Aktivitätstyp
Higher or Secondary Education Establishments
Links
Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

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