Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski polski
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS
Zawartość zarchiwizowana w dniu 2024-06-18

Electron Spin Resonance Nano-Imaging for the Analysis of Semiconductor Devices

Cel

The semiconductor industry is a multibillion-dollar endeavor situated at the heart of the modern world. During the development and production of semiconductor devices things can go wrong, and the source of the problems must be analyzed. This is the impetus for another large industry aimed at providing methods for failure analysis (FA) of semiconductor devices. FA systems make use of a variety of sophisticated techniques that provide a wealth of information at very high spatial resolutions. However, current techniques have limitations, especially regarding the non-destructive measurement of the internal structure and material composition of the devices.
Electron spin resonance (ESR) is a well-established technique for the characterization and imaging of paramagnetic materials. In semiconductors, ESR has been used extensively to study paramagnetic properties such as crystal impurities, defects, and dopants that greatly affect the devices’ performance. However, conventional ESR has very limited sensitivity and image resolution, making it unattractive for the study of the sub-micron-scale devices that are in use today. Our current ERC project has recently resulted in a method that improves ESR sensitivity by about 3 orders of magnitude compared to commercial systems. We also enhanced the spatial resolution of ESR-based images to the 100-nm length scale. Such capabilities heighten ESR’s attractiveness as a potential semiconductor-inspection tool. The purpose of the proposed project is to develop a demonstration prototype of a one-sided ESR imaging probe based upon this new methodology. This probe will examine semiconductor wafers and analyze their properties, composition, and structure in a non-destructive manner. We will also provide market research on the field of FA and examine how our new method fits into it. Special attention will be paid to strengthening IP protection for our idea and to finding means to attract more funds to commercialize this technology.

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Program(-y)

Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

ERC-2011-PoC
Zobacz inne projekty w ramach tego zaproszenia

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

CSA-SA(POC) - Supporting action (Proof of Concept)

Instytucja przyjmująca

TECHNION - ISRAEL INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Wkład UE
€ 149 820,00
Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

Brak danych

Beneficjenci (1)

Moja broszura 0 0