Objetivo
In the semiconductor industry, the scaling of MOSFETS ensures the continued reduction in cost and increase in speed. The gate dielectric plays a critical role in this scaling, and extensive research has been carried out on the subject of how to increase the lifetime and integrity of these layers as they become thinner and are subjected to ever increasing current densities and electric fields. The need for a `high-k layer which can be fabricated thicker (while giving equal performance) to replace SiO2 as the dielectric layer in scaled MOSFET devices to stem the leakage current problem is evident. In this project, we intend to refine test methodologies developed by IMEC on relatively well understood high-k candidates like HfO2 and apply these methodologies to more novel materials eg La2O3.
The test methodology will focus on controlling the flatband and threshold voltages, Vt shifts, channel mobility, bias temperature instability, charge formation, trapping and amp; de-trapping, and interfacial kinetics for HfO 2 films. Electrical measurements will be made on both large and small area capacitors, and on MOSFETs, and special attention will be paid to understanding the different properties of large and small area devices. Subsequently the study will be extended to new materials and these properties will be evaluated in newer high-k candidates, in an attempt to understand the physical mechanisms at work.
Another aspect of the project will be the correlation of the electrical data to physical analysis. This will be achieved by the use of materials analysis techniques (SIMS, XPS etc.) to determine chemical environments, and the linking of this data to electrical performance. The goal of the project is to develop a methodology for evaluating the suitability of high-k materials for incorporation into CMOS, and ultimately to identify such a material.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ingeniería y tecnología ingeniería de materiales sólidos amorfos semiconductores amorfos
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica microelectrónica
- ciencias naturales ciencias físicas óptica espectroscopia
Para utilizar esta función, debe iniciar sesión o registrarse
Palabras clave
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
FP6-2005-MOBILITY-5
Consulte otros proyectos de esta convocatoria
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
LEUVEN
Bélgica
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.