Ziel
In the semiconductor industry, the scaling of MOSFETS ensures the continued reduction in cost and increase in speed. The gate dielectric plays a critical role in this scaling, and extensive research has been carried out on the subject of how to increase the lifetime and integrity of these layers as they become thinner and are subjected to ever increasing current densities and electric fields. The need for a `high-k layer which can be fabricated thicker (while giving equal performance) to replace SiO2 as the dielectric layer in scaled MOSFET devices to stem the leakage current problem is evident. In this project, we intend to refine test methodologies developed by IMEC on relatively well understood high-k candidates like HfO2 and apply these methodologies to more novel materials eg La2O3.
The test methodology will focus on controlling the flatband and threshold voltages, Vt shifts, channel mobility, bias temperature instability, charge formation, trapping and amp; de-trapping, and interfacial kinetics for HfO 2 films. Electrical measurements will be made on both large and small area capacitors, and on MOSFETs, and special attention will be paid to understanding the different properties of large and small area devices. Subsequently the study will be extended to new materials and these properties will be evaluated in newer high-k candidates, in an attempt to understand the physical mechanisms at work.
Another aspect of the project will be the correlation of the electrical data to physical analysis. This will be achieved by the use of materials analysis techniques (SIMS, XPS etc.) to determine chemical environments, and the linking of this data to electrical performance. The goal of the project is to develop a methodology for evaluating the suitability of high-k materials for incorporation into CMOS, and ultimately to identify such a material.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
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- Technik und Technologie Werkstofftechnik amorphe Feststoffe amorphe Halbleiter
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Elektromagnetismus und Elektronik Halbleiterbauelement
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Schlüsselbegriffe
Schlüsselbegriffe des Projekts, wie vom Projektkoordinator angegeben. Nicht zu verwechseln mit der EuroSciVoc-Taxonomie (Wissenschaftliches Gebiet).
Schlüsselbegriffe des Projekts, wie vom Projektkoordinator angegeben. Nicht zu verwechseln mit der EuroSciVoc-Taxonomie (Wissenschaftliches Gebiet).
Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
FP6-2005-MOBILITY-5
Andere Projekte für diesen Aufruf anzeigen
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
LEUVEN
Belgien
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.