Skip to main content
Aller à la page d’accueil de la Commission européenne (s’ouvre dans une nouvelle fenêtre)
français français
CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
CORDIS
Contenu archivé le 2024-06-18

Pilot Line For Self Assembly Copolymer Delivery

Objectif

The PLACYD project aims at strengthening the European leadership in the field of advanced lithography. The consortiums gathers the main European Rnull actors along the whole value chain (Material suppliers, equipment suppliers, semiconductor companies, CAD companies, research laboratories) in order to bring the key materials, processes and design tools for Directed Self Assembly (DSA) Lithography at the required industrial maturity for its introduction at the 1Xnode.

PLACYD is focused on challenges that must be addressed to
ensure the successful development and integration of Directed Self Assembly Lithography technology to support a high-volume integrated circuit (IC) manufacturing process and prepare the next generation nodes.

PLACYD will consist in defining and assembling the first pilot line to produce materials at the heart of the DSA technology. This will include a dedicated material synthesis and formulation pilot line that, as well as all the monitoring and characterisation means:
? to define the material specifications and prepare its introduction in IC fabs.
? to carry out statistical studies in 300mm line environment to understand correlations between material characteristics and application performances (CDU vs MW dispersity, Defectivity vs composition…)
? to demonstrate DSA technology maturity and compatibility to high volume IC manufacturing,

PLACYD will also define and qualify design tools that will allow designing guiding structure properly.Initially PLACYD will focus on contact shrink and contact doubling application. The project will deliver a Design module through its CAD partner as well as actual electrical demonstrators through its IC manufacturer partners.

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.

Vous devez vous identifier ou vous inscrire pour utiliser cette fonction

Programme(s)

Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.

Thème(s)

Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.

Appel à propositions

Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.

ENIAC-2013-2
Voir d’autres projets de cet appel

Régime de financement

Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.

JTI-CP-ENIAC - Joint Technology Initiatives - Collaborative Project (ENIAC)

Coordinateur

ARKEMA FRANCE SA
Contribution de l’UE
€ 763 002,00
Adresse
51 ESPLANADE DU GENERAL DE GAULLE
92800 PUTEAUX, LA DEFENSE
France

Voir sur la carte

Région
Ile-de-France Ile-de-France Hauts-de-Seine
Type d’activité
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Liens
Coût total

Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.

Aucune donnée

Participants (10)

Mon livret 0 0