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CORDIS - Risultati della ricerca dell’UE
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Contenuto archiviato il 2024-06-18

Pilot Line For Self Assembly Copolymer Delivery

Obiettivo

The PLACYD project aims at strengthening the European leadership in the field of advanced lithography. The consortiums gathers the main European Rnull actors along the whole value chain (Material suppliers, equipment suppliers, semiconductor companies, CAD companies, research laboratories) in order to bring the key materials, processes and design tools for Directed Self Assembly (DSA) Lithography at the required industrial maturity for its introduction at the 1Xnode.

PLACYD is focused on challenges that must be addressed to
ensure the successful development and integration of Directed Self Assembly Lithography technology to support a high-volume integrated circuit (IC) manufacturing process and prepare the next generation nodes.

PLACYD will consist in defining and assembling the first pilot line to produce materials at the heart of the DSA technology. This will include a dedicated material synthesis and formulation pilot line that, as well as all the monitoring and characterisation means:
? to define the material specifications and prepare its introduction in IC fabs.
? to carry out statistical studies in 300mm line environment to understand correlations between material characteristics and application performances (CDU vs MW dispersity, Defectivity vs composition…)
? to demonstrate DSA technology maturity and compatibility to high volume IC manufacturing,

PLACYD will also define and qualify design tools that will allow designing guiding structure properly.Initially PLACYD will focus on contact shrink and contact doubling application. The project will deliver a Design module through its CAD partner as well as actual electrical demonstrators through its IC manufacturer partners.

Campo scientifico (EuroSciVoc)

CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.

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Programma(i)

Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.

Argomento(i)

Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.

Invito a presentare proposte

Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.

ENIAC-2013-2
Vedi altri progetti per questo bando

Meccanismo di finanziamento

Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.

JTI-CP-ENIAC - Joint Technology Initiatives - Collaborative Project (ENIAC)

Coordinatore

ARKEMA FRANCE SA
Contributo UE
€ 763 002,00
Indirizzo
51 ESPLANADE DU GENERAL DE GAULLE
92800 PUTEAUX, LA DEFENSE
Francia

Mostra sulla mappa

Regione
Ile-de-France Ile-de-France Hauts-de-Seine
Tipo di attività
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Collegamenti
Costo totale

I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.

Nessun dato

Partecipanti (10)

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