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CORDIS - Résultats de la recherche de l’UE
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Atom Probe Tomography (APT) Metrology for future 3D semiconductor devices

Objectif

This proposal presents a training-by-research plan in the emerging and exciting field of Atom Probe Tomography (APT) and its application in analysing non planar atomic scale state-of-the art semiconductor nanostructures. Central to this project are the metrology and training advances needed to underpin the next generation of 3 dimensional (3D) device architectures based on atomically engineered materials and interfaces (e.g. FinFETs such as the Tri-gate transistor ). Amongst the possible emerging 3D analysis techniques which meet industrial requirements in terms of 3D-spatial resolution is APT. However, within the semiconductor field APT as a characterisation tool is still in its infancy with many challenges unresolved from both a fundamental understanding perspective as well operational performance. It therefore remains prone to many artefacts and limitations such that one has not yet reached the robust analysis levels required for the semiconductor industry - i.e. qualitative versus quantitative information, high success yield, tight reproducibility and accuracy, and a full understanding of the data quality. Research on the exploitation of APT for advanced semiconductor devices is restricted as it requires simultaneous access to an (expensive) APT tool and advanced semiconductor technology. Thus, the number of trained researchers is limited. This project therefore aims to: (1) advance the APT technique and (2) complement the applicant’s expertise with substantial training and knowledge of the APT technique. Through detailed investigations into the phenomena most impacting on APT new insights which will feed into the needs of the semiconductor industry will be sought. The research and training activities are designed to enhance the future career of the applicant by broadening his technical skills in a novel research area that and increase his prospects for extended funding for future collaborative research projects.

Champ scientifique (EuroSciVoc)

CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.

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Programme(s)

Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.

Thème(s)

Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.

Régime de financement

Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.

MSCA-IF-EF-ST - Standard EF

Voir tous les projets financés dans le cadre de ce programme de financement

Appel à propositions

Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.

(s’ouvre dans une nouvelle fenêtre) H2020-MSCA-IF-2014

Voir tous les projets financés au titre de cet appel

Coordinateur

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Contribution nette de l'UE

La contribution financière nette de l’UE est la somme d’argent que le participant reçoit, déduite de la contribution de l’UE versée à son tiers lié. Elle prend en compte la répartition de la contribution financière de l’UE entre les bénéficiaires directs du projet et d’autres types de participants, tels que les participants tiers.

€ 160 800,00
Coût total

Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.

€ 160 800,00
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