Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski polski
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS

Atom Probe Tomography (APT) Metrology for future 3D semiconductor devices

Cel

This proposal presents a training-by-research plan in the emerging and exciting field of Atom Probe Tomography (APT) and its application in analysing non planar atomic scale state-of-the art semiconductor nanostructures. Central to this project are the metrology and training advances needed to underpin the next generation of 3 dimensional (3D) device architectures based on atomically engineered materials and interfaces (e.g. FinFETs such as the Tri-gate transistor ). Amongst the possible emerging 3D analysis techniques which meet industrial requirements in terms of 3D-spatial resolution is APT. However, within the semiconductor field APT as a characterisation tool is still in its infancy with many challenges unresolved from both a fundamental understanding perspective as well operational performance. It therefore remains prone to many artefacts and limitations such that one has not yet reached the robust analysis levels required for the semiconductor industry - i.e. qualitative versus quantitative information, high success yield, tight reproducibility and accuracy, and a full understanding of the data quality. Research on the exploitation of APT for advanced semiconductor devices is restricted as it requires simultaneous access to an (expensive) APT tool and advanced semiconductor technology. Thus, the number of trained researchers is limited. This project therefore aims to: (1) advance the APT technique and (2) complement the applicant’s expertise with substantial training and knowledge of the APT technique. Through detailed investigations into the phenomena most impacting on APT new insights which will feed into the needs of the semiconductor industry will be sought. The research and training activities are designed to enhance the future career of the applicant by broadening his technical skills in a novel research area that and increase his prospects for extended funding for future collaborative research projects.

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Program(-y)

Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

MSCA-IF-EF-ST - Standard EF

Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego programu finansowania

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

(odnośnik otworzy się w nowym oknie) H2020-MSCA-IF-2014

Wyświetl wszystkie projekty finansowane w ramach tego zaproszenia

Koordynator

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Wkład UE netto

Kwota netto dofinansowania ze środków Unii Europejskiej. Suma środków otrzymanych przez uczestnika, pomniejszona o kwotę unijnego dofinansowania przekazanego powiązanym podmiotom zewnętrznym. Uwzględnia podział unijnego dofinansowania pomiędzy bezpośrednich beneficjentów projektu i pozostałych uczestników, w tym podmioty zewnętrzne.

€ 160 800,00
Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

€ 160 800,00
Moja broszura 0 0